产品描述:

特征：                                                             应用：

最大行程4m x 4m                                              半導體設備

以線性滑軌或空氣軸承架構之定位平台                   自動化搬送

良好接地設計防止雜訊干擾                                  FPD設備

Z向震動可達奈米等級以下                                   太陽能製造設備

最大速度可達5m/s                                             PCB設備

標準重現精度1um或以下                                     水刀設備

位置回饋系統解析度最低可達50nm 。                   鑽石切割產業
                                                                      AOI檢測設備
                                                                      工具機