供应NRL60A罗茨干式真空泵 爱发科NRL60A罗茨干泵价格
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵产品图片: |
|
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵产品概述: |
NRL系列在低温领域下的均热化。除PVD工艺外,尤其适用于希望提高流量,缩短排气时间的重要工艺腔体的排气。特长结净的真空腔体内没有润滑油,对水蒸气、溶剂等气体也有稳定的排气性能。能在高吸入压强下运转选用比标准电机容量大一级的电机,即可实现在高吸入压强下的运转。 |
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵产品特点: |
1、 低噪音、低振动, 优良的耐腐蚀性 2、标准零部件采用高硬度并经过优异的防腐蚀特殊表面处理,降低对腐蚀性气体排气时泵体内部的腐蚀程度。 3、选购件:可选购消音器、冷却水流量开关、氮气流量开关、泵温传感器。 |
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵适用范围: |
1、 活性气体(CVD、刻蚀等) 2、 排出非活性气体(溅射镀膜、蒸气镀膜、热处理、液晶注入等) 3、用于产生粉尘工艺中的排气(Si单晶炉等) 4、 作为前级泵使用(涡轮式分子泵、机械罗茨泵的前级泵) 5、 冷冻干燥等水蒸气排气 |
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵抽气速率: |
|
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵售后服务: |
1、 出厂检验:每一产品出厂前均有专业的质量检验人员调试检测,合格后方能出厂。 2、 产品运输:出厂后运输单位保证安全运抵客户指定的地点。 3、 售后服务及投诉专线:18817733178 李经理 4、 产品报修: 在接到报修通知后,努力在最短时间提供合理的解决方案
特此声明不予办理退货情况如下: 1、由于人为的或者不可抗拒的自然现象而发生的损坏 2、由于操作不当或不正确的安装造成的损坏或破坏, 3、由于对机械设备的改造,分解,组装而发生的故障 |
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵相关型号: |
NB罗茨泵系列:NB100A NB300A NB600A NB1200A
VS油旋片式真空泵系列:VSN1501 VSN2401 VD油旋片式真空泵:VDN601 VDN901 VDN401 VDN301 GLD油旋片式真空泵:GLD-N280 GLD-N051 GLD-N201 GLD-N136 PVD油旋片式真空泵系列:PVD-N360 PVD-N180 |
ULVAC爱发科NRL60A罗茨干泵联系方式: |
ADD:上海市青浦工业园盈港东路8300弄153号 P.C: 201700
咨询热线:18817733178 李经理
QQ : 553296724
TEL: 021-60445258 FAX: 021-39651673
|