高精度激光位移传感器 激光传感器 位移传感器 激光位移传感器
高精度激光位移传感器ZLDS/N-100是一款非接触式高精度光学位移传感器,具有100微米的量程和15纳米的分辨率,起始测量距离是3mm。ZLDS/N-100可以相当于一个高分辨率的电容传感器。对于定点测量,振动测量,表面轮廓测量,对于被测体有较宽的适用范围,比如金属,半导体和玻璃。该传感器可以很容易与现有设计相接合,而且具有较大的基准距,ZLDS/N-100都是一款理想的测量工具。
高精度激光位移传感器应用领域:
应用于光盘、硬盘的高精度在线非接触性检测,还可以应用于电机等强磁场测振和表面轮廓测量。
高精度激光位移传感器主要特点:
高数据采集,高分辨率,可替代电容式传感器;
对电磁场不敏感,可用于电机等强磁场测振;
对被测体表面要求低,反射率4~100%均可用;
宽频带,可测高频振动体;
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技术规格:
技术参数 | ZLDS/N-100 |
量程μm | 100 |
分辨率nm | 15 |
线性度μm | ±5 |
重复性nm | ±75 |
信号接收范围μm | ±400 |
带宽KHz | 100 |
允许表面反射度% | 4~100 |
传感器探头基准距mm | 3.0 |
垂直容忍度 | ±0.1° |
供电 | ±12VDC @80mA |
传感器体长mm | 58.7 |
测量点直径μm | 100 |
控制器尺寸mm | 98x32x13 |
电缆长度mm | 460 |
◆技术规格可按客户要求定制。