高精度纳米位移传感器 位移传感器 电容传感器 电容位移传感器
英国真尚有ZNXsensor高精度纳米位移传感器是通过改变电容两极板间的电荷实现测量的。常用的方法有三种:变极板间距离的变极距型;改变极板面积的变面积型;还有就是改变介质介电常数的变介质型。现在所介绍的是变极距型的高精度纳米位移传感器。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器应用领域:
压电微位移、振动台,电子显微镜微调,天文望远镜镜片微调,精密微位移测量等。
该高精度纳米位移传感器是一种非接触式的电容位移传感器;两个传感器板形成一个平行板电容器,每个传感器可用在两个不用的测量范围;纳米分辨率;零磁滞。
ZNXsensor高精度纳米位移传感器主要特点:
量程20~1250μm;
分辨率<0.1nm;零磁滞;
线性最高0.02%;
频带可调:50~5000Hz;灵敏度可调;
真空兼容选项;
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英国真尚有集团
深圳市真尚有科技有限公司
电话:0755 - 26528100 / 26528011/26528012
传真:0755-26528210/26435640
技术规格:
传感器型号 | ZNXA | ZNXB | ZNXC | ZNXD |
小量程μm | - | 20 | 100 | 250 |
灵敏度μm/V | - | 2 | 10 | 25 |
噪音nm rms Hz-1/2 | - | <0.001 | <0.005 | <0.013 |
温漂nm/K | - | 1 | 4.4 | 11 |
线性度% | - | <0.08 | <0.03 | <0.06 |
大量程μm | 50 | 100 | 500 | 1250 |
灵敏度μm/V | 5 | 10 | 50 | 125 |
噪音nm rms Hz-1/2 | <0.08 | <0.015 | <0.075 | <0.188 |
温漂nm/K | 2.2 | 4.4 | 22 | 55 |
线性度% | <0.08 | <0.08 | <0.05 | <0.06 |
频响Hz | 50/500/5000 |
控制器型号 | NS2000 | NM2110 | S2000和NS模块 | NM3330 |
传感器通道最大个数 | 1 | 1 | 14 | 3 |
供电 | ±15V,70mA | 90~130V或220~260V | 90~110V或110~130V或220~260V | 90~260V |
模拟输出V | ±5 | ±5 | ±5 | |
数字输出 | | | 16位(可选) | 7位浮点数 |
频响KHz | 5 | 5 | 5 | 12.5 |
◆我们保留规格变化而不另行通知的权利。