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简单、合适的紧凑设计
※1 |
■适用于CE标志的使用条件
>>详细信息
特点
简单的自动灵敏度设定
只须按下2个按钮便可设置出最佳灵敏度。 | |
快速接线
扳动一下固定杆便可将检测头电缆连接至SU-7放大器。不用再剥去芯线的外壳。而且,如果使用专用剥线器(附件)能很容易地剥去传感器电缆外壳。 | |
放大器厚度仅为10mm
SU-7放大器仅为10mm厚,大大节省了安装空间。(W10×H31.5×D67mm) | |
用于多方面检测的9项高级功能
1.限定灵敏度设定功能 [所有机型] 检测细微差别的灵敏度可在无工件时通过按下一按钮来设定。
2.设定灵敏度转移功能 [所有机型] 将设定灵敏度转移至稳定侧。
3.外部灵敏度切换功能 [SU-79] 放大器存有4档灵敏度,可通过外部进行切换。
4.外部灵敏度设定功能 [SU-77] 可远程调节灵敏度。
5.外部同步功能 [SU-75] 可通过外部信号输入、检测时间。
6.投光停止功能 [SU-75] 便于起始检测。
7.灵敏度余量显示功能 [所有机型] 通过稳定指示灯的闪烁次数显示灵敏度的余量。
8.接通延迟/断开延迟定时器功能 [SU-7、SU-77、SU-79、SU-7J] 可通过单个调节器选择接通延迟/断开延迟0~5s。
9.防干扰功能 [所有机型] 检测头可贴近安装。
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行聚焦传感器 [SH-84R]
・最适合检测印刷字符 由于光点面积成线状(1×4mm),最适合检测印刷字符。 ・耐位置偏差能力强 因为它是根据检测区域的入光总量来决定,不易受检测物体位置的偏差。 | |
玻璃电路板检测传感器/SH-72
・可稳定检测玻璃电路板 由于采用特殊光学系统,可在相同距离内检测透明玻璃电路板及覆有有光泽薄膜的玻璃电路板。 ・无阴影区 ・重复精度0.03mm ・不受背景的影响 | |
绿色LED小光点型 [SH-82G]
・红色/白色辨别 SH-82G对红色LED型难分辨的红色/白色、红色/黄色或红色/橙色最具威力。 | |
耐药品型 [SH-61R]
・耐药品能力强 因为检测头和附带电缆覆盖氟化树脂,SH-61R可用于强化学物质环境。而且,它有2.5m的长检测距离。 | |
红色LED小光点型 [SH-82R]
・最适合微小物体的检测 ・极细光点直径 φ0.7mm 集成电路块的上/下表面很易辨认。
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超薄型 [SH-2□]
・体积最小 0.3cm3 ・厚度 3mm ・可灵活安装 | |
超小型 [SH-3□]
・带指示灯的检测头 装备有能对工作进行简单检查的工作状态指示灯。 ・带红色LED的2m长检测距离(SH-33R) 可视红色LED光轴调整简单方便。 | |
用途
测定引线框的位置 | |
| 区别集成电路块的上下表面 | |
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检测白纸上的红色标记 | |
| 检测透明电路板 | |
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检测IC高度 | | 种类检测头 | (注1):透过型的铭牌上所标记的型号带“P”符号的机型为投光器,带“D”符号的机型为受光器。 (例)SH-61R的投光器:SH-61RP、SH-61R的受光器:SH-61RD |
| 放大器连接器型与传感器和省配线连接系统S-LINK、简易配线的传感器座和带连接器的电缆配合使用。 传感器和省配线连接系统S-LINK | |
| 用于简易配线的传感器座SL-BMW、SL-BW | |
| 带连接器电缆 CN-54-C2(长2m) CN-54-C5(长5m)
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配件(另售)MS-DIN-2 (放大器安装支架) | |
| SU-CT1 (专用剥线器) | |
| MS-SH6-1 (检测头安装支架SH-61R)
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可选件 | (注1):传感器检查器的详情请参阅CHX-SC2。 |
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狭缝透光罩OS-SS3 | 检测头和狭缝透光罩可安装在一起 |
| 传感器检查器CHX-SC2 | |
| 检测头安装支架MS-DS-1 | M3(长14mm)带垫圈螺丝2个 |
| MS-SS3-1 | |
| MS-SH6-2 | 不附带螺丝。 |
| 规格检测头 种类 | 超薄型超 | 透过型 | 扩散 反射型 | 正面检测 | 侧面检测 | 型号 | SH-21 | SH-21E | SH-22 | 适用 放大器 | SU-7系列 | 检测距离 | 300mm | 50mm (注2) | 检测物体 | 最小检测物体 φ0.3mm不透明体 (最佳状态下) (注3) | 最小检测物体 φ0.3mm铜线 (设定距离:3mm和最大灵敏度时) | 应差(滞后) | - | 动作距离的15%以下 (注2) | 重复精度 (垂直于检测轴) | 0.03mm以下 | 0.15mm以下 | 工作状态指示灯 | - | 环 境 性 能 | 保护构造 | IP62(IEC)、防滴形(JIS) | 使用环境 温度 | -10〜+60℃(注意不可结露、结冰) 存储时:-20〜+70℃ | 使用环境 湿度 | 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH | 使用环境 照明度 | 白炽灯:受光面照明度3,500lx以下 | 耐振动 | 频率10〜55Hz 双振幅1.5mm X,Y和Z方向各2小时 | 耐冲击 | 加速度500m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 | 投光元件 | 红外线LED(调制式) | | 发光波峰 波长 | 880nm | 材质 | 外壳:聚芳酯(加入玻璃纤维) | 电缆 | 0.089mm2(超薄型:0.057mm2)单芯(扩散反射型:2根平行单芯线)屏蔽电缆,长3m | 电缆延长 | 用同等的电缆全长可延长至5m(超小型:10m)(透过型:投光器和受光器各1根) | 重量 | 本体重量: 投・受光器各约12g | 本体重量: 约24g | 附件 | 检测头安装螺丝:2套(SH-22:1套) |
(注1):无时的测量条件为使用环境温度=+23℃。 (注2):扩散反射型传感器的检测距离与应差是相对于白色无光泽纸(50×50mm)的数值。 (注3):最佳状态是指在受光状态下的一定距离,调节灵敏度至工作状态指示灯刚好亮起时的状态。
种类 | 超小型 | 透过型 | 扩散 反射型 | 红色LED | 绿色LED | 红色LED | 型号 | SH-31R | SH-31G | SH-33R | SH-32R | 适用 放大器 | SU-7系列 | 检测距离 | 1m | 100mm | 2m | 100mm (注2) | 检测物体 | 最小检测物体 φ1mm不透明体 (设定距离:1m和最佳灵敏度时) (注3) | 最小检测物体 φ1mm不透明体 (设定距离:100mm和最佳灵敏度时) (注3) | 最小检测物体 φ1mm不透明体 (设定距离:2m和最佳灵敏度时) (注3) | 不透明体、 半透明体、 透明体 | 应差(滞后) | - | 动作距离的15%以下 (注2) | 重复精度 (垂直于检测轴) | 0.1mm以下 | 0.5mm以下 | 工作状态指示灯 | 红外线LED(当放大器的检测输出为ON时亮起, 位于透过型检测头的投光器上) | 环 境 性 能 | 保护构造 | IP66(IEC)、耐水形(JIS) | 使用环境 温度 | -25〜+60℃(注意不可结露、结冰) 存储时:-30〜+70℃ | 使用环境 湿度 | 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH | 使用环境 照明度 | 白炽灯:受光面照明度3,500lx以下 | 耐振动 | 频率10〜55Hz 双振幅1.5mm X,Y和Z方向各2小时 | 耐冲击 | 加速度500m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 | 投光元件 | 红外线LED(调制式) | 绿色LED(调制式) | 红色LED(调制式) | | 发光波峰 波长 | 700nm | 570nm | 680nm | 700nm | 材质 | 外壳:ABS、透镜:聚芳酯 | 电缆 | 0.089mm2(超薄型:0.057mm2)单芯(扩散反射型:2根平行单芯线)屏蔽电缆,长3m | 电缆延长 | 用同等的电缆全长可延长至5m(超小型:10m)(透过型:投光器和受光器各1根) | 重量 | 本体重量: 投・受光器各约10g | 本体重量: 约20g | 附件 | - |
(注1):无时的测量条件为使用环境温度=+23℃。 (注2):扩散反射型传感器的检测距离与应差是相对于白色无光泽纸(50×50mm)的数值。 (注3):最佳状态是指在受光状态下的一定距离,调节灵敏度至工作状态指示灯刚好亮起时的状态。
种类 | 耐药品型 | 标记传感器 | 玻璃电路板 检测传感器 | 透过型 | 小光点 | 行 聚焦 | 红色 | 绿色 | 型号 | SH- 61R | SH- 82R | SH- 82G | SH- 84R | SH- 72 | 适用 放大器 | SU-7系列 | 检测距离 | 2.5m [安装在另售的安装支架 (MS-SH6-2)上并用作限定反射型时为5〜80mm(中心25mm) (注3)] | 10〜14 mm (中心12mm) (光点直径φ0.7mm) (注2) | 10〜14 mm (中心12mm) (光点直径φ1mm) (注2) | 17〜23 mm (中心20mm) (光点尺寸1×4mm) (注2) | 0.5〜7.5 mm (带透明玻璃电路板) | 检测物体 | φ5mm以上的不透明体 [安装在另售的安装支架 (MS-SH6-2)上并用作限定反射型时为φ1mm以下(设定距离为:25mm且为最佳灵敏度] | 最小检测物体 0.07mm宽白纸上的黑线 (设定距离:12mm 和最佳灵敏度时)(注4) | 最小检测物体 0.2mm宽白纸上的黑线 (设定距离:12mm 和最佳灵敏度时)(注4) | 最小检测物体 0.07mm宽白纸上的黑线(注5) (设定距离:20mm 和最佳灵敏度时) (注4) | □24mm以上的透明玻璃、铝制干燥镜等 | 応差 (滞后) | - [安装在另售的安装支架 (MS-SH6-2)上并用作限定反射型时为动作距离的15%以下] | 动作距离的10%以下(注2) | 动作距离的5%以下 | 重复 精度 (垂直于检测轴) | 0.1mm以下 [安装在另售的安装支架 (MS-SH6-2)上并用作限定反射型时为0.1mm以下(设定距离:25mm和最佳灵敏度时)(注4)] | 0.02mm以下 | 0.03mm以下 | 0.03mm以下(注6) | 0.03mm以下 (检测軸方向) | 動作 显示灯 | 橙色LED [当放大器的检测输出ON时亮起, 且配备在投光器上] | 红外线LED(放大器侧检测输出ON时亮起) | - | 环 境 性 能 | 保护 构造 | IP67(IEC) 防浸形(JIS) | - | 使用 环境 温度 | -10〜+55℃(注意不可结露、结冰)、 存储时:-20〜+70℃ | -10〜+60℃(注意不可结露、结冰) 存储时:-10〜+60℃ | 使用 环境 湿度 | 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH | 使用 环境 照明度 | 白炽灯:受光面照明度3,500lx以下(SH-61R:2,000lx以下) | 耐振动 | 频率10〜500Hz 双振幅3mm (玻璃电路板检测传感器的频率10〜55Hz 双振幅1.5mm) X,Y和Z方向各2小时 | 耐冲击 | 加速度500m/s2(约50G) X,Y和Z方向各3次 | 投光元件 | 红色LED (调制式) | 红色LED (调制式) | 绿色LED (调制式) | 红色LED (调制式) | 红外线LED (调制式) | | 发光 波峰 波长 | 644nm | 680nm | 570nm | 680nm | 880nm | 材质 | 外壳:氟化树脂 电缆外被:氟化树脂 | 外壳:聚芳酯 透镜:丙烯 | 外壳:聚芳酯 | 电缆 | 0.089mm22根平行单芯线(耐药品型:单芯)屏蔽电缆,长2m(玻璃电路板检测传感器:长3m) | 电缆 延长 | 用同等的电缆全长可延长至5m(SH-61R :投光器和受光器各1根) | 重量 | 本体重量: 各约15g | 本体重量: 约20g | 本体重量: 约25g | 附件 | MS-SH6-1(检测头安装支架): 2个 | - |
(注1):无时的测量条件为使用环境温度=+23℃。 (注2):扩散反射型传感器的检测距离与应差是相对于白色无光泽纸(50×50mm)的数值。 (注3):用于限定反射检测模式的耐药品型传感器的检测距离及应差是以白色无光泽纸(150×150mm)为检测物体的。 (注4):使用前,请务必通过实际检测进行确认。 (注5):SH-84R的最小检测物体是指根据以下显示的光点传感器检测一条黑线的情况。
(注6)::SH-84R的重复精度是指当检测物体如下所示靠近光点旁边时的情况。(如果从上或从下靠近时,应为0.12mm。)
放大器种类 | 基本 型 | 外部同步输入 型 | 遥控型 | 外部灵敏度切换 型 | 型 号 (注2) | NPN输出 | SU-7(J) | SU-75 | SU-77 | SU-79 | PNP输出 | SU-7P | - | - | - | 适用 检测头 | SH系列 | 电源电压 | 12〜24V DC±10% 脉动P-P10%以下 | 消耗电流 | 35mA以下 | 检测输出 | <NPN输出型> NPN开路集电极晶体管 ・最大流入电流:100mA ・外加电压:30V DC以下(检测输出和0V之间) ・剩余电压:1.0V以下(流入电流为100mA时) 0.4V以下(流入电流为16mA时) <PNP输出型> PNP开路集电极晶体管 ・最大源电流:100mA ・外加电压:30V DC以下(检测输出和+V之间) ・剩余电压:2.0V以下(源电流为100mA时) 1.0V以下(源电流为16mA时) | | 输出动作 | 用ON/OFF按钮选择检测时ON/非检测时ON(SU-77可用外部输入选择) | 短路保护 | 装备 | 自己诊断输出 | <NPN输出型> NPN开路集电极晶体管 ・最大流入电流:50mA ・外加电压:30V DC以下(自诊断输出和0V之间) ・剩余电压:1.0V以下(流入电流为50mA时) 0.4V以下(流入电流为16mA时) <PNP输出型> PNP开路集电极晶体管 ・最大源电流:50mA ・外加电压:30V DC以下(自诊断输出和+V之间) ・剩余电压:2.0V以下(源电流为50mA时) 1.0V以下(源电流为16mA时) | | 输出动作 | 不稳定检测ON状态(约40ms后自动恢复),或检测输出短路(短路矫正后恢复) (对于遥控型,在约40ms时或接受外部灵敏度设定输入时转为ON) | 短路保护 | - | 反应时间 | 0.6ms以下(使用防干扰功能时0.8ms以下) | 工作状态指示灯 | 红色LED(检测输出ON时亮起) | 稳定指示灯 | 绿色LED "RUN"模式:稳定入光时、稳定非入光时亮起点灯 "SET"模式:设定灵敏度时,当(ON/OFF的入光量差大于应差时,闪烁2次,但当等于或小于应差时,闪烁15次),在设置防干扰功能后也闪烁2次 "SET"模式→切换为"SIF"模式或"RUN"模式:根据灵敏度余量闪烁0~5次 | 投光停止功能 | - | 装备 | - | - | 外部同步功能 | - | 装备(期间同步/微分同步切换式) | - | - | 外部灵敏度设定功能 | - | - | 装备 | - | 外部灵敏度切换功能 | - | - | - | 装备(保存4档灵敏度) | 灵敏度转移・ 限定功能 | 转移设定灵敏度 | 防干扰功能 | 装备 | 定时器功能 | 接通延迟/断开延迟定时器配备 (0〜5s可变) | - | 接通延迟/断开延迟定时器配备 (0〜5s可变) | 环 境 性 能 | 使用环境 温度 | -10〜+55℃(注意不可结露、结冰)、 存储时:-20〜+70℃ | 使用环境 湿度 | 35〜85%RH、存储时:35〜85%RH | 耐电压 | AC1,000V 1分钟 所有电源连接端子与外壳之间 | 绝缘电阻 | 所有电源连接端子与外壳之间,20MΩ以上,基于DC250V的高阻表 | 耐振动 | 频率:10〜150Hz 双振幅0.75mm X,Y和Z方向各2小时 | 耐冲击 | 加速度:100m/s2(约10G) X,Y和Z方向各5次 | 材质 | 外壳:耐热ABS 外罩:聚芳酯 电缆固定杆:PPS | 电缆 | 0.15mm26芯(SU-7 :0.2mm24芯)橡皮电缆 长2m(SU-7J除外) | 电缆延长 | 0.3mm2以上的电缆全长可延长至100m | 重量 | 本体重量: 约65g | 附件 | MS-DIN-2(放大器安装支架):1个、SU-CT1(剥线器):1个 |
(注1):无时的测量条件为使用环境温度=+23℃。 (注2):SU-7J为接口型。 | 检测装满洗涤液的石英槽中的晶圆盒 | |
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尺寸图
SU-7□
附带放大器安装支架的安装图
| (注1)::SU-75则为外部同步切换开关。 (注2):上图所示为未安装外罩的状态。 |
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MS-DIN-2
放大器安装支架(放大器附带)
| 材质 :SPCC(光泽镀锌) |
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SH-21
检测头
投光器
SH-21E
检测头
| (注1):投光器和受光器的尺寸一致。 |
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SH-22
检测头
SH-31R SH-31G
SH-33R
检测头
SH-32R
检测头
| (注1):投光器和受光器的尺寸一致。 |
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SH-82R SH-82G SH-84R
检测头
SH-72
检测头
SH-61R
检测头
| 材质:POM |
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SU-CT1
剥线器(放大器附带)
| 材质:POM |
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MS-DS-1
检测头安装支架(另售)
| 材质:SPCC(光泽镀锌) M3(长14mm)带垫圈螺丝2个 |
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MS-SS3-1
检测头安装支架(另售)
| 材质:SPCC(光泽镀锌) M3(长12mm)带垫圈螺丝2个 |
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MS-SH6-1
检测头安装支架(SH-61R附带)
| 材质:SUS304 |
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MS-SH6-2
检测头安装支架(另售)
| 材质:SUS304 |
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