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性能特点
通过“无风”“微风”“高速”等所有静电消除方式,来对应多种应用。
微风(空气:不足0.05MPa)
防止灰尘扩散和清洁度的下降!
即使是以往机型所无法对应的不足0.05MPa的区域,也可进行除电。
由于几乎不存在空气引起的灰尘扩散,因此最适用于对清洁度要求较高的半导体和FPD(移动面板)等用途的除电。
由于存在空气,使得灰尘难以附着在放电针上,因此与使用无风时相比,可减少清洁次数。
高速除电
放出空气+大量离子,从而缩短除电时间!
大量放出离子,从而可缩短除电时间。最适用于电子纸和薄膜太阳能
电池等,除电速度直接关系到单件工时生产性提高的用途。
丰富的接头种类,
可供选择
备有4种接头,可根据工件进行选择。
小型接头,360°调整机构
30×22mm的小型尺寸,可安装在狭小的空间内。另外,还可将接头角度旋转360°,因此安装后亦可调整除电区域。
种类接头
型号 | ER-X016 | ER-X032 | ER-X048 | ER-X064 |
有效除电幅度 | 约160mm | 约320mm | 约480mm | 约640mm |
除电时间 | (±1,000V→±100V)1秒以下(注1) |
离子平衡 | ±30V以下(注1) (注2) |
放电方式 | 脉冲AC方式 |
放电输出电压 | 约7,000V |
臭氧产生量 | 0.01ppm以下 |
最大空气压力 | 0.5MPa |
使用环境温度 | 0~+50°C(但应无凝露) |
注:1)除电距离100mm、放电频率50Hz、无空气供给条件下的典型示例。
2)离子平衡为正负的平均值。另外,规格值是在环境温度变化为±10°C的环境下,从开始放电经过30分钟后设定离子平衡,将离子平衡控制功能设为ON时使用的典型示例。
3)控制器的型号为ER-XC02,器接头连接台数最多为2台,电源电压为24V DC±10%,输出为PhotoMOS输出。
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