半自动探针台与测试仪配接后,能自动完成对芯片的电参数测试。
技术性能:
1. 采用高性能计算机,Windows操作系统,动态显示测试过程;
2. TTL专用接口,IEEE488接口;
3. MAP图显示、支持大量数据存储;
4. 具有同步打点、延时打点、离线打点功能;
5. 具有编辑、矩阵、环形、圆形等多种自动测试方式;
6. 适合对光敏感器件的遮光测试。
技术指标:
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性能名称 |
技术指标 |
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可测片径 |
4″、5″、6″ |
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工作台 |
最大行程 |
180mm×260mm |
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定位精度 |
≤±0.015mm |
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步进分辨率 |
0.001mm |
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承片台 |
Z向行程 |
8mm |
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Z向定位精度 |
≤±0.005mm |
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Z向分辨率 |
0.001mm |
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θ向调节范围 |
±10 º |
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θ向分辨率 |
0.001 º |
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观察装置 |
双目体视显微镜,放大倍数7.5X~45X |
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遮光罩装置(适合对光敏感器件的遮光测试) |
(选配) |
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上、下圆片方式 |
手动方式 |
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外形尺寸(宽×深×高) |
750mm×700mm×1500mm |
环境要求:
1. 电源:AC 220V±22V 50Hz±1Hz,功率:<0.8KW,真空:< -80 KPa
2. 使用环境:温度:10ºC-30ºC 湿度:<60%