优惠价直销日本近藤konsei 优质气缸、气爪WHA-200AS-1

ＷＨＡ　シリーズ　　枚葉型ウエハハンド 
WHA-200AS/300AS

エッジクランプだから表裏面に接触しません。

特　長

• 固定搬送。
  クランプして搬送する事であらゆる搬送姿勢に対応可能です。
  装置の高速化に伴う芯ズレを防止します。
• ウエハ表裏に対して非接触。
  エッジのみに接触し、クランプ・吸着搬送に伴うパッド痕の心配がありません。

仕　様

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型　　式		WHA-200AS-1	WHA-200AS-2	WHA-200AS-3	WHA-200AS-4
対象ワーク　　　 （シリコンウエハ）		φ200(8インチ)
搬送枚数　　　　　　　　　　　(枚)		1
駆動方式	閉方向	スプリング
	開方向	エアー　-80kPa (-600mmHg)
動作ストローク　　　　　　　　(mm)		10mm(クランプ7mmクランプシロ3mm)
把持力 (Ｎ)		3
ガイド方式	スライドガイド	転動体リニアガイド
	ワークガイド	仮受け座有り(PEEK材)
クリーン度		クラス１（吸引要）
本体質量　　　　　　　　　　　(kg)		─			0.38
オプション		開閉確認センサ、取付けブラケット、ワーク受け
ＣＡＤデータ

　

型　　式		WHA-300AS-1	WHA-300AS-2	WHA-300AS-3	WHA-300AS-4	WHA-300AS-5	WHA-300AS-6
対象ワーク（シリコンウエハ）		φ300(12インチ)
搬送枚数　　　　　　　 (枚)		1
駆動方式	閉方向	スプリング
	開方向	エアー　-80kPa (-600mmHg)
動作ストローク　 　　　(mm)		10mm(クランプ7mmクランプシロ3mm)
把持力　　　　　　　 　(Ｎ)		7.5
ガイド方式	スライドガイド	転動体リニアガイド
	ワークガイド	仮受け座有り(PEEK材)
クリーン度		クラス１（吸引要）
本体質量　　　　 　　　(kg)		0.5	0.48	0.5	0.48	－	1.0
オプション		開閉確認センサ、取付けブラケット、ワーク受け
ＣＡＤデータ

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