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1 01821022 CMP调节器、用于CMP调节器的硬质磨粒的排列方法以及CMP调节器的制造方法 2 00815709 用于抛光衬垫的调节器和制造该调节器的方法 3 200510056573 电压调节器及其制造方法 4 200810111091 电压调节器及其制造方法 5 200580033330 燃油输送单的压力调节器及该压力调节器的制造方法 6 03801744 反射式空间光调节器的制造 7 201046627 供给功率调节器和半导体制造装置 8 200910177 供给功率调节器和半导体制造装置 9 200680006206 供给功率调节器和半导体制造装置 10 200380100588 薄膜叠层体、采用该薄膜叠层体的电子装置、及调节器以及调节器的制造方法 11 200610484 用于*液体的流量调节器及其制造方法 12 200910176624 用在液压间隙调节器中的球柱塞以及其制造方法 13 200480004664 阀装置及其制造方法、压力调节器、承载架、液体喷射设备 14 201110122233 用在液压间隙调节器中的冷成型平顶柱塞及其制造方法 15 200610142098 光刻装置和调节器件制造装置的内部空间的方法 16 03104332 强感应体薄膜件及制造方法、薄膜电容器及压电调节器 17 200580049791 卫生配件,即用于流动的流体介质的射流调节器或射流形成器,用于制造这种卫生配件的方法以及这种卫生配件的应用
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