种类
磁敏
材料
聚合物
材料物理性质
半导体
材料晶体结构
多晶
制作工艺
厚膜
输出信号
模拟型
防护等级
3
线性度
3(%F.S.)
迟滞
3(%F.S.)
重复性
3(%F.S.)
灵敏度
3
漂移
3
分辨率
3
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■特点:同时检测盒内的晶片!同时检测盒内的晶片·盒内的所有晶片都可被同时检测。· 备有3种传感器:M-625适用于25张6英寸晶片,M-825适用于25张8英寸晶片,M-826适用于26张8英寸晶片· 由于是透过型,因此不受晶片表面颜色影响。晶片绘图检测·晶片间距:
6.35mm(M-825, M-826)4.76mm(M-625)·电源电压:20~26.4V DC·输出:NPN开路集电极晶体管(最大20mA)
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