概述

ZSY/OSM系列在显微镜的物镜聚焦装置领域内代表了最高的性能。 ZSY/OSM系统用于显微镜转台和目标之间的定位，可以为定位和扫描提供埃米级的分辨率。
ZSY/OSM-Z-100B使用ZSY最新的双传感器技术，在显微镜物镜聚焦领域实现了业界的动态性能和精度。

应用领域

◆

表面结构分析；

◆

自动对焦系统；

◆

共焦显微镜；

◆

扫描干涉仪；

推荐控制器

DSC-A-1110DS模拟控制器

主要特点

◆

高于行业标准3倍速度：<4ms的阶跃稳定时间和100μm的闭环位移控制；600Hz的响应频率；20N/μm的刚度

◆

装备双传感器技术：在不同的负载下无需重新校准；优越的机械带宽；

◆

卓越的ZSY纳米传感器定位性能：0.1nm的定位噪音；0.01%的线性度；0.005%的剩余磁滞；

◆

免工具安装适配器；

◆

超级不胀钢结构设计获得极高的聚焦稳定性；

推荐产品

参数

符号

值

单位

备注

静态参数

最小

标准

最大

材料

超因瓦低膨胀系数合金(亮镍镀层)

尺寸

56长x46直径

mm

线缆长度

2

m

接口

15 Pins Sub-D

*范围

dzp.max

100

um

静态刚度

kz

20

N/um

共振频率: 0g负载

f0·0

600

Hz

150g负载

f0·100

400

Hz

280g负载

f0·280

320

Hz

500g负载

f0·500

270

Hz

最大负载

0.6

Kg

①

动态参数(标准值)

中

②

3dB带宽

Bz·p

210

Hz

*反应时间

tzs·s

<4

ms

③

*位置噪声(1σ)

δZp·n

0.5

nm

④

转换速率

uzp·max

20

μm/ms

⑤

误差

最小

标准

最大

*磁滞(峰到峰)

δzp·hyst

0.005

0.01

%

⑥

*线性误差(峰值)

δzp·lin

0.01

0.1

%

⑦

*旋转误差

δФz

2

10

uradians

⑧

*旋转误差

δγz

2

10

uradians

⑧