NM-XYZ-100A-Z15H是Z-15H与XY-100A组合，保持了10mm的孔，由Super
Invar（超因瓦合金）制成。这样的组合提供了X，Y轴120微米的移动范围以及Z轴16微米的移动范围。
应用领域 | ◆ | 高精度显微镜、传送显微镜、光学捕获； | 推荐控制器 | NM3330 | 主要特点 | ◆ | X,Y运动范围120微米，Z轴16微米； | ◆ | 三轴都有高于纳米级的精度和稳定性； | ◆ | 稳定的平台； | ◆ | 非常低的磁滞和线性误差<0.005%； | ◆ | 简单的操作，简易的图像校准； | ◆ | 现场扫描响应最优化； | ◆ | 长期稳定性； | ◆ | 特殊钢材外壳（Super
Invar）； | | | |
推荐产品 | 
| ZNXsensor超精密电容位移传感器 | 
| ZCS1100精密电容位移传感器 |
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 技术规格安装尺寸
NM－XY－100A 参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | 静态参数 | | | | | | | 最小 | 标准 | 最大 | | | 材质 | | 特种不胀钢（镀镍） | | 尺寸 | | 100（长）×100（宽）×35（高） | mm | ① | *范围 | dxp·max | ±50 | ±55 | | μm | | *比例因子 | bx1 | | 1 | | μm | ② | *比例因子误差 | δbx1 | | | 0.1 | % | | 静态刚度 | kx | | 1 | | N/μm | | 共振频率（空载） | f0·0 | | 350 | | Hz | | 共振频率（50g） | f0·50 | | 260 | | Hz | | 共振频率（1000g） | f0·1000 | | 120 | | Hz | | 最大负载 | | | | 1 | Kg | ③ | 动态参数 | | | | | | | | | 快 | 中 | 慢 | | ④ | 3dB带宽 | Bx·p | 53 | 20 | 4 | Hz | | *信号响应时间 | txs·s | 15 | 30 | 130 | ms | ⑤ | *位置噪音 | δXp·n | 0.7 | 0.5 | 0.25 | nm | ⑥ | 转换速率 | Uxp·max | 3 | 2 | 0.5 | μm/ms | ⑦ | 误差 | | | | | | | | | 最小 | 标准 | 最大 | | | *磁滞（峰峰值） | δxp·hyst | | 0.005 | 0.01 | % | ⑧ | *线性度（峰值） | δxp·lin | | 0.1 | 0.02 | % | ⑨ | 角度偏差1 | δФx | | 10 | 25 | urad | ⑩ | 角度偏差2 | δθx | | 5 | 10 | urad | ⑩ | 角度偏差3 | δУx | | 5 | 10 | urad | ⑩ | 正交性误差 | dforth | | 8 | | mrad | | | | | | | | |
NM-Z-15H 参数 | 符号 | 值 | 单位 | 备注 | 静态参数 | | | | | | | 最小 | 标准 | 最大 | | | 材质 | | 特种不胀钢 | | 尺寸 | | 34（直径）×45（长度） | mm | ① | *范围 | dxp·max | ±7.5 | ±8.5 | | μm | | *比例因子 | bx1 | | 1 | | μm | ② | *比例因子误差 | δbz1 | | | 0.1 | % | | 静态刚度 | kz | | 20 | | N/μm | | 共振频率（空载） | f0·0 | | 900 | | Hz | | 最大负载 | | | | 0.5 | Kg | ③ | 动态参数 | | | | | | | | | 快 | 中 | 慢 | | ④ | 3dB带宽 | Bz·p | 80 | 40 | 10 | Hz | | *信号响应时间 | tzs·s | 55 | 10 | 30 | ms | ⑤ | *位置噪音 | δZp·n | 0.5 | 0.2 | 0.1 | nm | ⑥ | 转换速率 | Uzp·max | 2 | 1 | 0.5 | μm/ms | ⑦ | 误差 | | | | | | | *磁滞（峰峰值） | δzp·hyst | | 0.005 | 0.01 | % | | *线性度（峰值） | δzp·lin | | 0.01 | 0.02 | % | ⑨ | *角度偏差1 | δФz | | | 10 | urad | ⑩ | *角度偏差2 | δУz | | | 10 | urad | ⑩ | | | | |
注意： *这些参数由各转换器实测并提供的。 ①、中间有一个10mm的孔。 ②、所有的位置命令单位是每微米7个数字分辨率。 ③、1Kg是Z轴最大负载时的频率，X、Y轴的最大负载时0.5Kg时会损害设备置。 ④、动态参数，在不同参数下的工作状况，这个参数用户可以通过软件设置。 ⑤、这是2%的响应时间，这是伺服系统的闭环参数，用户可以控制，测试单位是2000nm。 ⑥、实际的位置噪音。 ⑦、变换位置的最大速率，这受闭环参数的限制（开环最大速率3.5μm/ms）。 ⑧、位移的百分比，意思是位移为1μm则磁滞小于0.1nm。 ⑨、线性误差为满量程的百分比。 ⑩、在运动空过程中产生的角度偏移误差，这个误差在X、Y、Z轴均可能发生。 |
