纳米级的测量精度，对被测表面无特殊要求,无论是漫反射或全反射被测表面都能检测。特别适合玻璃等透明物体表面平整度，及厚度测量；小孔深度测量；透明、非透明液面测量。

主要特点

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纳米级分辨率；与光强度无关,与被测体反射系数无关；

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适用各种金属、非金属，以及透明材料的表面位置、位移测量。并与被测体表的亮暗无关；

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精致紧凑光路结构，光学传感器头离控制器几米远,给使用带来方便；

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单向可测玻璃厚度、透镜厚度,以及透明薄膜厚度测量；

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与三角反射法不同,几乎无反射角要求,且无反射平面阻挡之影响,因此可用于小孔深度测量；

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对环境要求不高:无需附加背景光,对被测体温度不敏感, 对被测体表面色差和纹理不敏感；

传感器

NLS14纳米级位移计

量程mm

0.3

分辨率 nm

25

线性%

≤0.5

重复性nm

≤10

测量间隙mm

4

光源卤素灯W

55

光斑直径µm

5

测量垂直度º

90±25

响应Hz

30～1500

输出

数据接RS232，模拟0－10V

重量g

探头约30，控制器约4000