| NM-Z-15L单轴纳米定位台是一个集成了电容传感器的纳米平台。高于纳米级的分辨率和重复性,特点是高硬度,能承载5KG。可以选择在末端电机的位置加装碳化钨球。 |
NM-Z-15L单轴纳米定位台应用领域 |
◆ | NM-Z-15L单轴纳米定位台适用于精确测质量较大的物体例如:透镜、面具、车床的卡盘、机床等; |
NM-Z-15L单轴纳米定位台推荐控制器 |
NM3110 |
NM-Z-15L单轴纳米定位台主要特点 |
◆ | >15微米运动范围,高于纳米级分辨率; |
◆ | 振荡频率>8KHZ; |
◆ | 0.005%磁滞、线性度; |
◆ | 高带宽(>1KHz)响应时间短; |
◆ | 现场扫描最优化; |
◆ | 高稳定性; |
◆ | 特殊钢材外壳; |
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