1.氧化物：一氧化硅，二氧化硅，二氧化铪，二氧化锆，二氧化钛，三氧化二钛，五氧化三钛，二氧化钒，五氧化二钽，五氧化二铌，氧化铝，三氧化二铝，三氧化二钪，三氧化二铟，二氧化铈，三氧化钨，氧化镁，氧化铜,氧化亚铜，氧化铁,四氧化三铁，三氧化二铁，氧化钐，氧化钕，氧化硼，氧化镧，氧化钇，氧化镱，氧化钆，氧化镥，氧化铽，氧化钬，氧化铕，氧化铥，氧化铒，氧化铋，氧化镨，氧化锑，氧化钒，氧化镍，氧化锌，氧化铁，氧化铬，氧化锶，三氧化二铬，氧化铬，氧化铟镓锌，IGZO，氧化铟锡，氧化锌铝，AZO，ITO，氧化锡，二氧化锡，氧化锆，氧化镓，三氧化二钼，氧化钼，氧化钴，四氧化三钴，氧化亚钴，氧化银，氧化钙，等高纯氧化物。 

3.金属类：铝，铜，铬，钴，金，银，铂，铪，钨，钼，硅，锗，锰，镁，铌，锡，锌，钒，铁，钛，锆，碲，镍，钽，镓，铟，钯，镧，镨，钆，铈，铽，钬，钇，镱，铥，铼，铑 ，铱，钙，硼，铋，镉，锶，硒，锑，碳，硫
金锡，金锑，金铂，镍铬，钛铝，钛硅，铝硅，镍钒等各类合金，高纯金属。

4.硫化物：硫化铜，硫化亚铜，硫化镉，硫化锌，二硫化钼，硫化铋，硫化锡，硫化亚锡等其他硫化物。

5.碳化物：碳化锆，碳化铪，碳化硅，碳化硼，碳化钨，碳化钛，碳化铌等其他碳化物。

6.氮化物：氮化钛，氮化铝，氮化硅，氮化硼，氮化镓，氮化锆等其他氮化物。

7.其他化合物：二硼化锆，二硼化钛，二硼化铪，二硒化钼，二硒化钨，硒化镉，钛酸钡，钛酸锶，钛酸锰钛酸铌，钛酸镧，钛酸镨，钛酸锂，钛酸锶钡，磷酸铁锂，锰酸锂，铌酸锂，镍酸钐，二硅化钼，碳酸锂，铁酸铋，钴酸锂，钌酸锶，铌钒钛氧，硝酸银，硝酸铟，硝酸铕，碲化镉，碲化锗，碲化锌，铁酸铋等。

二、溅射靶材（规格：圆形/平面/多弧/旋转；纯度3N-6N）

1.金属靶材：铬靶、镍靶、钛靶、硼靶、锌靶、镁靶、铌靶、锡靶、铝靶、铟靶、铁靶、锆靶、硅靶、铜靶、钽靶、锗靶、银靶、钴靶、金靶、钌靶、钯靶、铑靶、铂靶、钆靶、镧靶、钇靶、铈靶、铪靶、钼靶、铁镍靶、钨靶、靶等溅射靶材。

2.陶瓷靶材：ITO靶、AZO靶、IGZO靶、GZO靶、氧化镁靶、氧化铝靶，氧化钇靶、氧化铁靶、氧化铁靶、氧化镍靶、氧化铬靶、氧化锌靶、二氧化硅靶、一氧化硅靶、氧化铈靶、二氧化锆靶、五氧化二铌靶、二氧化钛靶、二氧化铪靶、二硼化钛靶、二硼化锆靶、硼化镧靶、三氧化钨靶、三氧化二铝靶、五氧化二钽靶、硒化锌靶、氮化铝靶、氮化硅靶、氮化硼靶、氮化钛靶、氮化锆靶、碳化硅靶、碳化硼靶、铌酸锂靶、二硒化钼靶，二硒化钨靶，硒化镉靶，钛酸钡靶，钛酸锶靶，钛酸锰钛，LiV308靶，酸铌，铁酸铋靶、钛酸镨靶、钛酸钡靶，钛酸镧靶，钴酸锂靶，钌酸锶靶，铌钒钛氧靶等陶瓷溅射靶材。

3．合金靶材：

铂铑合金靶，铬铝合金靶，金钯合金，金锡合金，金锗镍合金，铝钒合金靶，铝铬钇合金靶，铝硅合金靶，铝硅铜合金靶，铝铁合金靶，镁铬合金靶，钼镍合金靶，镍铂合金靶，镍钒合金靶，镍铬合金靶，镍铬铝钇合金靶，镍硅合金靶，镍碳合金靶，镍铁合金靶，坡莫合金靶，镍铜合金靶，钛硅合金靶，钛铝硅合金靶，钛硅碳合金靶，钛铝合金靶，钛镍合金靶，钛钨合金靶，铁碲合金靶，铁铬钴合金靶，铁钴合金靶，铁镍合金靶，铁钴镍合金，铁钴钒合金，铁钴硼合金，铜镓合金，钴镍铬铝钇合金，铜铋合金靶，铜锌合金，铜锡合金靶，铜硒合金靶，铜银合金靶，钨钛合金靶，不锈钢靶、钼铌靶、铝钕靶、锆铝靶、铬钨靶、铬钒靶、钛铝靶、铜镓靶、铜铟镓靶、铜铟镓硒，锌铝靶等合金靶材。