Formtracer
表面粗糙度、轮廓形状一体机
Formtracer Extreme (表面粗糙度/轮廓测量装置)
SV-C3000CNC / SV-C4000CNC
525系列 — 表面粗糙度/形状测量仪
特点
? 高精度CNC表面粗糙度／形状测量仪，
一机二用：可进行表面粗糙度和形状／轮
廓测量。
? 每轴驱动速度最高可达200mm/秒，实现
高速定位，满足多轮廓／多工件的测量
任务。
? 带 a 轴的机型可通过电动倾斜检出器，
对水平和倾斜表面进行连续测量。
? 带Y轴工作台的机型可通过Y轴轴向定
位，扩大测量任务的范围，如多工件任
务等。
? SV-C4000CNC系列的轮廓驱动器配备激
光全息光栅尺，可提高宽／窄范围测量
精度和 Z1轴分辨率。
? 通过同时控制X1轴和Z2轴的方向，可
实现倾斜平面的测量。
? 通过简单的一次性操作，可更换形状／轮
廓测量装置与表面粗糙度测量装置，并
且，不必对连接电缆重新布线。
? 由于Z1轴检出器内置了防撞器，当检出
器主体即将碰撞工件或夹具时，检出器
将自动停机。
? 配有易于操作的遥控箱 ：通过两个操纵
杆，选定需要操作的轴，即可实现任何
移动。键上端的轴向图标易于辨认，轻
松操作。
? 通过USB与数据处理／分析器通信。
基本技术参数:
基座尺寸 (W x D):
750 x 600mm
基座材料:
花岗岩
重量:
240kg, 250kg (高立柱型)
电源:
100 – 240VAC ±10%, 50/60Hz
能耗:
500W (主机)
轮廓测量技术参数:
X1轴
测量范围:
200mm
分辨率:
0.05μm
检测方法:
反射型线性编码器
驱动速度:
200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度:
0.02 - 2mm/s
移动方向:
向前／向后
直线度:
2μm/200mm
*以X1轴为水平方向上
指示精度 (20oC时):
±(1+4/200)μm(SV-C3000CNC)
±(0.8+4L/200)μm(SV-C3000CNC)
倾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋转速度:
1rpm
Z2轴 (立柱)
垂直移动:
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
检测方法:
反射型线性编码器
驱动速度:
200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
Z1轴 (检出器)
测量范围:
±25mm
分辨率:
0.2μm (SV-C3000CNC),
0.05μm (SV-C4000CNC)
检测方法:
线性编码器 (SV-C3000CNC),
激光全息测微计 (SV-C4000CNC)
直线位移:
±(2+|4H|/100)μm(SV-C3000CNC)
精度 (20oC时)
± (0.8+I0.5HI/25)μm (SV-C4000CNC)
*H: 为基于水平位置的测量高度 (mm)
测针运作:
弧形移动
测针方向:
向下
测力:
30mN
跟踪角度:
向上: 70o, 向下: 70o
(使用配置的标准测头， 依表面粗
糙度而定)
测针针尖
尖端半径: 25μm, 硬质合金尖端
表面粗糙度测量的技术参数:
X1轴
测量范围:
200mm
分辨率:
0.05μm
检测方法:
反射型线性编码器
驱动速度:
200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
测量速度:
0.02 - 2mm/s
直线度:
0.5μm / 200mm
a 轴
倾角:
-45o - +10o
分辨率:
0.000225o
旋转速度:
1rpm
Z2轴 (立柱)
垂直移动:
300mm 或 500mm
分辨率:
0.05μm
检测方法:
反射型线性编码器
驱动速度:
200mm/s (最大CNC)
0 - 60mm/s (操纵杆)
检出器 (选件)
范围／分辨率:
800μm / 0.01μm, 80μm / 0.001μm,
8μm / 0.0001μm (使用测针选件时，
最大可达2400μm)
测力:
4mN 或 0.75mN (低测力型)
测针针尖:
金刚石, 90o / 5μmR
(60o / 2μmR: 低测力型)
检测方法:
差动电感式
