功能描述
概述
SM5420是一个小外型SO-8封装的不带温度补偿压力传感器，该传感器使用SMI公司经过优化的硅微结构的SM5108晶圆，并能为如此小的压力传感器提供比较高的精确度。这种优越性能通过细微电阻安装和微机械配置以及先进的MEMS加工技术而得。 这种传感器是为大批量使用而价格又成为关键因素的客户而设计，如胎压计或者是轮胎气压监测系统。SM5420为绝压类型的压力传感器，满量程范围为15psi、0psi、60psi和100psi,SM5420是基于大批量使用陶瓷基板或者是印刷电路板的制造商而设计。 |  |
SM5420可以选用带端口的配置或者带孔配置，让进气通过端口上方或者压力源的正向定位用于感应一般环境压力或者与O形的密封圈一起使用。该端口方向已选定以最小化因恶劣环境中附加的长期依赖而造成的压力脉冲直接冲击压力晶圆正面的几率。该器件对带有凝胶的作为标准，大量订购该器件并需要最大化稳定性的可以不带凝胶，比如在气压站、气象站的传感应用。
特点 l 15psi、30psi、60psi和100psi l 宽工作温度范围（-40至+125℃） l 适用于自动化流水线装配 l 超低价格 l 小外型封装（0.16英寸ⅹ0.16英寸） l 恒定电流或者恒定电压供电 l 较大的mV电压输出 l 没有温度补偿及零点校准 | 应用 l 汽车轮胎压力监测 l 引擎控制 l 气压传感 l 海拔高度校正仪 l 气动仪表 l 手持式仪表 l 家电 |
性能参数
所有参数在室温25℃，5V直流恒压源供电的条件下测量而得，除非另外规定。
| 最小值 | 典型值 | 最大值 | 单位 |
激励电压源 DC | 0 | 5.0 | 10 | V |
激励电流源 DC | 0 | 1.0 | 1.6 | mA |
满量程输出 PSI （kPa） 15 （103） 30 （207） 60 （414） 100 （689） | 95 65 65 65 | 127 100 100 100 | 160 135 135 135 | mV mV mV mV |
零点输出 | -35 | | 35 | mV |
满量程温度系数 | -24 | -19 | -15.5 | %FS/100℃ |
零点温度系数 | -7 | -1 | +7 | %FS/100℃ |
电阻温度系数 | +24 | +27.5 | +33 | %/100℃ |
压力线性度（非线性误差） | -0.20 | -0.07 | +0.20 | %FS |
桥臂阻抗 | 4 | 5 | 6 | kΩ |
输入电容 | | <2 | | pF |
耐压 | 3ⅹ | | | Rated FS |
爆破压力 | 5ⅹ | | | Rated FS |
工作温度 | -40 | | +125 | ℃ |
存储温度 | -40 | | +150 | ℃ |
注意：
1、电桥可以被正电压或者负电压激励；正输出适用在正电压激励正压力加载在晶圆上
2、在5V恒定电压激励下测量
3、测量从0到70℃
4、最佳直线拟合
电气连接
1 | NC | 8 | +IN |
2 | Out+ | 7 | NC |
3 | NC | 6 | Out- |
4 | -IN | 5 | NC |
外形结构图 单位：英寸
 |
SM5420带孔结构尺寸图 |
|
SM5420带管结构尺寸图 |
选型指南
SM5420压阻式压力传感器 SM5420—015—A—P—T
型号 | 测量压力范围 | 压力类型 | 外形结构 | 运输方式 |
SM5420 | 015 | A | P | T |
SM5420 | 030 | A | H | S |
SM5420 | 060 | A | P | S |
SM5420 | 100 | A | H | T |
测量压力范围 | 压力类型 | 外形结构 | 运输方式 |
PSI | SM5420 | A—绝压 D—差压 G—表压 | P—带管结构 H—带孔结构 | T—带卷装 S—IC管装 |
15 | 015 |
30 | 030 |
60 | 060 |
100 | 100 |
注：SM5420只有绝压类型，产品外形尺寸以说明书上标注为准，产品升级或其他改动我们会另行通知。
