性能 型号

CL-GLD-900

CL-GLD-1100

CL-GLD-1300

镀膜室尺寸

￠900×H1100MM

￠1100×H1250MM

￠1300×H1490MM

工装夹具

拱型单工件盘，更大限度满足客户对均匀性的需要，旋转5~30r/min,无级变速

1、拱型单工件盘、满足客户对均匀性的需要，旋转5~30r/min,无级变速。     2、拱型三工件盘

真空系统

扩散泵KT-600,罗茨泵RTO-300,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢

扩散泵KT-800,罗茨泵RTO-600,机械泵2X-70,维持泵2X-8,管路为304不锈钢

扩散泵KT-6300,罗茨泵RTO-300,机械泵2X-70,维持泵2X-15,管路为304不锈钢

极性真空:优于6X10-4Ma

配置防湍流装置，安全互锁设计，手动、自动可选

加热系统

发热管上加热方法，PID控制，最高350℃±1.5℃

工作气体充气

压强仪或是手动微调充气阀

真空离子轰击

直流3KV,0.6KW棒状阴极（用于镀膜前自行对工件进行清洗）和气体离子源选配

蒸发源（选配）

1、电子枪：10KW、高压稳定。定位扫描、束斑聚焦性好、定位精度高、扫描再现性好。                              2、坩埚：六穴￠35*20坩埚或八穴￠35*20

离子源（选配）

霍两离子源：用于电镀前清洗或电镀过程进行辅助镀，有利于提高膜层折射率、牢固率、提高膜层致辞密门头性、附着力。（功率按产品选择）

镀膜控制系统（选配）

1、晶控器：可储存 1-99层自动镀膜过程，99种程序数据，精度±1A°固定误差。                          

2、光控器：采用多波长的全光谱终点分析技术，通过对监控片370-870mm的透射率（或反射率）曲线分析来判定膜层，控制精度高；也可采用单波长控制，自动控制的手动控制。附加Caie3.5膜系计算软件，一体化程度高。

3、光控器配合晶控器能满足高精度、高重复性的镀膜要求，与上位机配合可以实现自动控制

4、国产光控器：波长330-870NM可调，精度可达到±1.5NM