电源电压

100V（50／60Hz）

200V（50／60Hz）

使用电热器

350,650

200,440,650

温度范围

0～800℃

控制方式

PID  AUTO-TUMIMG

温度警报

上下限偏差警报（警报附加接点2点）

外部输入

输入点数1点

输入形式

无电压接点或者OPEN COLLECTOR

精度

温调器（±0.5%FS）　流量计（±2%FS以内）

气体种类

空气/氮气　※注1

使用流量

20L/min

耐圧

0.5Mpa

必要差圧

0.15Mpa

动作压差范围

0.05～0.3Mpa

尺寸

W161×H119（不含橡胶脚5mm）×D200（不含端子部20mm）

重量

約2.5kg