特点：        
*分辨率为0.1/0.5μm时，精度可高达(1.3+0.6L/600)μm；        
*确保垂直度（前部）达6μm，直线度达4μm；        
*全/半空气浮动系统可调节气垫；        
*GO/NO-GO LED显示.        
*带有基本统计功能，另外，通过RS-232C数据输出与带有SPC软件的电脑相连，        
可实现外部测量数据评估；        
*大容量数据存储，可储存50个测量程序和60000个测量结果        
技术参数：