一、概述
微小流量计是一种采用涡轮原理设计的专门测量微小流量的专用流量计，它具有极高的精度，特别是在高温和同压的条件下也是如些。电子脉冲发生器也集成在流量计内，在长期连续工作的条件下也能保持1%的精度和0.25%的重复性。由于灵巧的结构设计，在工作时不会形成沉淀，所以仪表的工作完成是“洁净”的。因此，即使是极为苛刻的要求，例如半导体集成电路和芯片的生产流程中使用的刻蚀剂，具有极强的耐腐蚀性，并如有一个极微小的颗粒落下，也会使芯片成为废品，这些现象，此款流量计均能适用。
二、主要技术参数
三、工作原理
流体流经传感器壳体，由于叶轮的叶片与流向有一定的角度，流体的冲力使叶片具有转动力矩，克服摩擦力矩和流体阻力之后，叶片旋转，在力矩平衡后转速稳定，在一定条件下，转速与流速成正比，由于叶片有导磁性，它处于信号检测器（由永久磁钢和线圈组成）的磁场中，旋转的叶片切割磁力线，周期性的改变着线圈的磁通量，从而使线圈两端感应出电脉冲信号，此信号经过放大器的放大整形，形成有一定幅度的连续矩形脉冲波，可远传至显示仪表，显示出液体的瞬时流量或总量。在一定的流量范围内，脉冲频率f与流经传感器的流体瞬时流量Q成正比，流量方程为：
Q=3600*(F/K)
式中：f—脉冲频率（HZ）
K—传感器的仪表系数（1/M3）,由校验单给出。
若以（1/L）为单位Q=3.6*(F/K)
Q—液体的瞬时流量（工作状态下）M3/H
四、传感器的接线
（+线线）—5-24VDC；
（-兰或绿线）—5-24VDC；
（黄线）—信号
