与常规气相色谱仪类似，微型气相色谱仪也有进样口、色谱柱和检测器组成。所不同的是微型气相色谱仪采用微加工技术，检测器进样口可微刻在硅片上，其尺寸与一个集成线路块相当。色谱柱可固定在一个加热块上。微型气相色谱仪在实验室使用时可用外接电源和气源，如果在野外使用还可以使用内置蓄电池和内置小钢瓶，一般可以维持连续工作40h。
微型气相色谱仪典型应用是使用微型气相色谱仪检测氟氯昂。
检测条件如下：
色谱柱：4m×0.32mm×10µm
柱温：120℃
载气：氦气
进样时间：5s
运行时间：160s
检测器：TCD，低灵敏度
色谱图如下：
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