型号

Excel661UM

重量

1530kg

1550kg

1550kg

承载重量

100kg

100kg

100kg

平台材质

钢构

基座材质

花岗岩

传动方式

Unique X&Y Monorail, Monorail Linear Z

电控系统

伺服系统: CNC, 鼠标, 摇杆

电源系统

93-264 VAC, 47-63 Hz,最大10 Amp

XY 精度

Uxy=2.5+L/300μm

Uxy=2.8+L/300μm

Uxy=3.2+L/300μm

Z 精度

Ux=2.5+L/150μm

Ux=3.0+L/150μm

Ux=3.5+L/150μm

XY 重现性

2.5μm

2.8μm

3.2μm

Z 重现性

2.5μm

3.0μm

3.5μm

XY 加速度

1000mm/S2

Z 加速度

500mm/S2

XY 移动速度

500mm/s

Z 移动速度

150mm/s

光学尺分辨率

0.1μm

影像

黑白

彩色

黑白

彩色

黑白

彩色

光源

红光LED

白光LED

红光LED

白光LED

红光LED

白光LED

照明系统

表面光, 轮廓光,同轴光

光学系统/放大倍率

12x 光学/3x 数字 Zoom / 15x~1200x 放大倍率

软件

InSpec for Windows Metrology Software(2000/XP/Vista)

工作环境

20℃(68℉)±2°,30-80%湿度