型号

501 UM / 501 UC

502 UM / 502 UC

量测行程

400 x 500 x 160 mm

400 x 500 x 250 mm

外形尺寸

1100 x 1200 x 1550mm

1100 x 1200 x 1650mm

重量

860kg

900kg

XY 移动速度

700 mm/s

XY 加速度

1400mm/S2

Z 移动速度

150 mm/s

Z 加速度

500mm/S2

光学尺分辨率

0.1μm

XY 精度

2.5 + L/200

2.8 + L/200

Z? 精度

2.5 + L/100

3.0 + L/100

镜头倍率(光学,数字)

36x(12x, 3x)

放大倍率

15x-540x to 30x-1080x

表面光, 轮廓光,同轴光光源

红光LED (黑白系统) 白光 LED(彩色系统)

承载重量

100kg

电源系统

93-264 VAC,47-63 Hz

工作温度

20℃±2°

存放温度

-25℃ ~ 60℃

工作湿度

30%-80%