哈维斯可代替杜邦VPF-1525 真空泵氟素润滑油 VPF-1525
化学性能非常稳定,耐强酸,包括的路易氏酸,耐强碱。与接触的任何特种气体的如氟气,强腐蚀性物质,强氧化剂,还原剂均不发生反应
应用:
1. 用于半导体工业真泵油。得到世界著名的真空泵制造商,如莱宝 Leybold, 爱德化 EDWARDS, 荏原EBARA,等的认可。
2. 尤其半导体芯片加工过程序中的蚀刻和沉淀过程特种气体的处理。
3. 其它特种气体行业真空系统泵浦中。
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