Sprint Flex系列卷绕镀膜设备

规格

       Sprint系列的Flex是专为各种卷材的灵活沉积设备,全方位的沉积来源和多个衬底选项,单面接触材料处理精度。卷材的配置提供了自由跨度与沉积在两个正面和背面的衬底在单通道提供大的灵活性。

       可配置的高达4前面和3背面沉积来源,Sprint Flex提供独立的配方驱动控制每个源,包括能够执行多个传递与交流材料。
      

       衬底加热和预处理选项如离子轰击,AC / DC /射频等离子体轰击可以优化表面能的底物。

       野马太阳能提供的应用程序以及标准流程，为客户提供的SprintFlex 40高度可靠的平台进行升级,柔性基板沉积工艺，,通过试点和低量生产。

●双重方向沉积-
●基材- 40厘米宽20厘米
●自定义和较大的衬底可用选项
●膜厚度监测
●Sprint快速退火
●本底真空10 x -7 
●油式机械或无油干式泵
●油扩散或分子泵
●低温补集泵
●沉积来源——
●平面磁控溅射,co蒸发、硒、热退火、自定义
●—附加功能——
机载诊断
网络兼容
等离子体预处理
1到7阴极配置(4正面,3背面)

电气配置
公用资源
●空气:80 psi(5.5条)@ 20 cfm
●电气:480 v / 3 p / 50 hz / 250佛罗里达州,充分准备,其他电源配置可用
●水:50美制加仑/分钟(220升/分钟)@ 60 - 80 F(15 - 26度)
●接地:两(2)¾”直径包铜钢棒驱动,通过地板,进入地底,深度8”。接地棒分开6英尺距离,接地电阻小于3欧姆。
●直流电源30 - 180千瓦
●交流电源
●射频功率
●脉冲直流电源
●HIPIMS -高影响等离子体磁控溅射