蓝宝石衬底(2“ 和 4” 6“ 8”) PSS晶粒
韩国工艺加工各种尺寸衬底,代加工高亮度芯片衬底PSS,
常用PSS工艺 技术规格 加工,
PSS 模式 : 2 x 1.2 x 1.6
Etch: 1.6 ± 0.15?
Diameter:2.6 ± 0.15?
Space: 0.6 ± 0.15?
亦可以根据客户要求加工!
options including C plane , A plane , R plane and M plane , in diameter
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蓝宝石衬底有许多的优点:首先,蓝宝石衬底的生产技术成熟、器件质量较好;其次,蓝宝石的稳定性很好,能够运用在高温生长过程中;最后,蓝宝石的机械强度高,易于处理和清洗。因此,大多数工艺一般都以蓝宝石作为衬底。
使用蓝宝石作为衬底也存在一些问题,例如晶格失配和热应力失配,这会在外延层中产生大量缺陷,同时给后续的器件加工工艺造成困难。蓝宝石是一种绝缘体,常温下的电阻率大于1011Ω·cm,在这种情况下无法制作垂直结构的器件;通常只在外延层上表面制作n型和p型电极(如图1所示)。在上表面制作两个电极,造成了有效发光面积减少,同时增加了器件制造中的光刻和刻蚀工艺过程,结果使材料利用率降低、成本增加。由于P型GaN掺杂困难,当前普遍采用在p型GaN上制备金属透明电极的方法,使电流扩散,以达到均匀发光的目的。但是金属透明电极一般要吸收约30%~40%的光,同时GaN基材料的化学性能稳定、机械强度较高,不容易对其进行刻蚀,因此在刻蚀过程中需要较好的设备,这将会增加生产成本。 蓝宝石的硬度非常高,在自然材料中其硬度仅次于金刚石,但是在LED器件的制作过程中却需要对它进行减薄和切割(从400nm减到100nm左右)。添置完成减薄和切割工艺的设备又要增加一笔较大的投资。 蓝宝石的导热性能不是很好(在100℃约为25W/(m·K))。因此在使用LED器件时,会传导出大量的热量;特别是对面积较大的大功率器件,导热性能是一个非常重要的考虑因素。为了克服以上困难,很多人试图将GaN光电器件直接生长在硅衬底上,从而改善导热和导电性能。盛金灵科技有限公司(盛金灵光学研究所)是一家集研发、生长、加工于一体的专业固体激光晶体和蓝宝石生长和加工企业。公司下设光学晶体部,蓝/红宝石加工部和市场销售部。
光学晶体部主要产品包括Nd:YAG, Nd、Ce:YAG, Er:YAG , Yb:YAG , Cr4+:YAG, Nd:YVO4,Er: YAG, BBO,BIBO ,KTP,KTA, 纯YAG晶体, 蓝宝石,氙灯, 氪灯,传能光纤, 以及激光反射腔等, 生产的激光晶体材料被广泛应用于美容、医疗、工业、军事等各种领域.
蓝/红宝石部现有加工产品超过2000 个品种规格,主要包括蓝宝石衬底及光学窗片、宝石长方片及光电导块、蓝宝石透镜、宝石柱塞棒、单向阀、宝石通孔元件,宝石微孔、宝石嵌件、宝石喷嘴、宝石轴承、宝石圆球、宝石测量头、特殊宝石元件、陶瓷元件。产品广泛应用于激光技术、LED、紫外线和红外线探测器、传感器、光纤通信、精密测量仪表、机械自动化、分析仪器、血球分析、印刷喷码、高压水射流、医疗、军工及航空航天等高科技领域。
近几年来,具有高技术含量、高性价比的蓝/红宝石光学窗片、光电导块、宝石光学元件、蓝宝石柱塞棒、宝石微孔、高压水射流喷嘴、氧化锆/氧化铝陶瓷元件、非金属硬脆材料和超硬材料制品在参与国际市场的竞争中,产品稳定地远销北美、欧洲、亚洲许多发达国家和地区。