苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化设备苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化设备苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化设备主要用途：用于焊接、不锈钢制造、冶炼，还用于半导体制造工艺中的化学气相淀积、晶体生长、热氧化、外延、扩散、多晶硅、钨化、离子注入、载流、烧结等
氩气作为制作单晶及多晶硅的保护气，为了提高硅晶体的质量，如何选用较高纯度的氩气，是制作硅晶体的一个议题。通过对本装置的使用，氩气的纯度其中氧含量小于1ppm时，水分也小于1ppm时，制作出的单晶硅其氧碳含量就小于0.5ppm，这样就提高了单晶的使用寿命并能达到要求，赢得客户的满意和市场的需求。
由于一般液氩汽化后未经过纯化处理，它的氧含量一般在2ppm~5ppm。有时气体供应商提供的氩气超过了此范围，但使用氩气的客户确不知道其质量，所以往往给生产产品质量造成影响。有了氩气纯化装置后不论氩原料气的质量如何，只要经过纯化装置的处理后，进入拉晶炉的氩气，纯度始终是恒定的。一般O2＜0.2ppm,水分＜1ppm，这样稳定的氩气对生产晶体质量是有保证的。
氩气纯化装置是针对需要使用超高纯度氩气的客户而设计的。全自动氩气纯化装置，具有触摸面板一键式启动、停止工作，操作简单明了。装置工作设有两组工作组，交替工作，循环使用。其中一组工作，另一组再生冷却备用。工作组工作无需加热，为常温工作。
- 进出口微氧分析仪在线监测，直观显示原料气体氧含量及纯化后的氧气含量。
- 纯气最终过滤系统一用一备，更具人性化，彻底解决无故障运行顾虑。
- 加氢还原系统采用质量流量计控制，真正做到定时定量全自动运行。
- 一键式启动设备，工作状态实时显示，操作简单、安全、明了。
苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化设备
设备工作原理
对应面板触摸屏可查看设备组成硬件、操作简介、观察、监视工作组工作状态、再生组再生状态、工作组工作时间、切换时间、设备总工作时间、再生加氢及加热时间和报警信息状态。
苏州晟宇氩气纯化机氩气纯化设备全自动氩气纯化装置特点：
- 设备外形色彩喷漆为乳黄色，采用烤漆形式，美观耐用，填装净化材料容器内壁做表面处理。
- 选材优良，氩气流经阀门，管道选用316材质,彻底解决气源重复污染，纯气出口管路采用BA级，保证纯气的洁净如一。
- 严格的质量控制，在制作过程中，邀请需方作全过程跟踪督察。
设备工作设有两组工作组，填装的净化材料属于可再生重复利用材料。原料液氩经汽化器汽化后由设备工作进口进入设备一组工作组，经脱氧剂、分子筛及精密高效过滤器后送出至工作点使用。一组工作组负荷饱和后，切换到另一组工作组工作，保证为使用点连续的提供高纯氩气。同时一组工作组开始再生加热加氢反吹洗（本系统加氢是为了还原脱氧剂，加氢结束后设备自动吹洗并直接放空），为等待下一次切换使用做好准备。
装置工作为常温工作，脱氧程度深、碳水含量低，均可达到并高于GB高纯氩气标准。
二主要技术条件
1处理气量 ≥2-320Nm3/h
2工作压力 ＜0.8Mpa
3原料氩气纯度 ≥99.999%
4纯化后 O2≤0.2ppm CO+CO2＜0.3ppm
CH4＜0.2 ppm H2O≤1ppm
5耗氢量 0.4m³/h（再生6小时
5电源电压 380V 50HZ
6装机功率 22.5KW （再生6.5小时）
7冷却水用量 1m³/h （水温应＜30℃
8需提供压缩空气压力 ＞0.4Mpa (干燥无杂质)
