低密度ITO靶材

 外观：黄绿色，均一

 化学式：In2O3
·SnO2

 铟锡比：In2O3/SnO2=95/5wt%（或90/10wt%）

 纯度： ≥99.99%

 杂质含量：≤100 ppm(Fe, Pb, Zn, Ni, Cu, Cd, Al, Si, Ca, Zr)

 相对密度：（62.0 ± 2.0）%

 尺寸：Φ25，Φ30等