产品参数
靶材纯度
＞99.95%～99.98%（3N5～3N8）
相对密度
＞99%
晶粒尺寸
＜100um
尺寸
矩形靶长度可达2000mm,直径可达500mm
产品规格
根据客户要求提供
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