用于光化学清洗 杀菌 产生臭氧降解有机物总有机碳去除(TOC)  制造超纯水等 有185nm和254nm两个主要波段. 主要有日本的 ORC SEN  EYE 德国Heraeus 美国Aquafine  Trojan 荷兰Philips  等品牌. 常用如SUV90-43 SUV90-59可用于涂料的硬化、Hard coat(硬化膜)树脂的硬化、SiO2烧成前的改质。
低压水银灯管：长达6000小时寿命的低压灯管可稳定放出波长为254nm与185nm的紫外线。以波长效果所产生的活性氧与波长能量来进行有机物的除去及改质等UV洗净作业。
可用于洗净液晶玻璃基板的有机物(改善亲湿性)，或是用来进行film等的改质。