美国Agilent安捷伦真空泵 旋片泵HS 652
极限分压强:10-4毫巴
最终总压力:2×10-3毫巴
最终总压力(W /气镇):1×10-2毫巴
水蒸汽耐受性:30毫巴
入口法兰:25 KF
排气管法兰:25 KF
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