• SFS 系列平台是我们最新开发的，利用了弹性变形和压电陶瓷驱动件的超精密定位平台。其中，有部分产品内置了位移传感器可以实现闭环控制，可以实现20nm 的分辨率，90μm 行程，320μm 的手动粗调。
• 我们采用了无空行程的金属弹性变形机构，以及5-6 倍的压电陶瓷变形放大机构。并采用我公司的超精密加工技术进行生产制造。

 

 

注意

• 所有数据的测量温度环境为摄氏20 ± 1 ℃。使用前，请仔细阅读使用说明书和安装说明书。
• 所有数据均为单个平台的数据，而非组装后的复合体，“复合”平台。
• 所有数据均为许用载荷内的值，而且载荷在平台中心，无偏载。
• 所有数据均为在上面板上的值。
• 行程为开环控制时的数据。
• 直动平台的重复定位精度值是采样时间为350µs 时的闭环控制时的值；对于转动平台和摆动平台，则是开环控制时的值。
• 分辨率是使用FINE-01，503 时的数据。
• 采用FINE 控制器，改善了闭环控制时的直线性。
• CL：采用位移传感器的闭环控制平台／ OP：无位移传感器的开环控制平台

320±10% （μm)	90±10% （μm)	0.37	9.8 （1kgf)	1 （nm)	20 （nm)	0.1	1	0.5	SFS-60X(CL)
57±15% （分)	900±15% （秒)	0.31	9.8 （1kgf)	0.01 （秒)	－	－	－	－	SFS-60YAW(OP)
25±15% （分)	215±15% （秒)	0.38	9.8 （1kgf)	0.005 （秒)	－	－	－	－	SFS-60RP(OP)