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体积小 、重量轻。
比传统的精密减压阀输出流量大。
比传统的紧密减压阀溢流流量大。
压力设定
调节螺钉的齿间距由传统的0.75mm改为0.5mm。
安装方便,可用托架独立安装或与现在的模块式过滤组合元件AF及AFM直接安装。
标准型也带面板安装。
先导排气口与主排气口分开
可在洁净房使用。
型号如下
IR1000-01 IR1000-01BG IR100-F01 IR100-01-N01 IR1010-01 IR1010-F01 IR1010-F01BG
IR1020-01 IR1020-01BG IR1020-F01 IR1020-01-R IR1020-N01 IR2000-02 IR2000-02-R
IR2000-F02 IR2010-02 IR2020-N02 IR2010-02BG IR2020-02-R IR2020-02-X2
IR202-02 IR202-02-X2 IR3020-03 IR3020-04 IR3010-02 IR301-03 IR301-02
IR3120-F04 IR400-02-P IR400-03 IR3020-04BG-R IR401-04-P IR402-02 IR402-02-P
IR402-04-P IR412-04-X1
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