作为的扩散泵制造商,安捷伦拥有最全面的扩散泵产品线,直径从 2 英寸至 35 英寸不等。该扩散泵专用于批量生产,可以在高压、高负载条件下保持很大的抽气能力,并能适应大批量生产中常见的气体负荷变化情况。优化的泵设计使得单位功率可以提供最大的抽气量,并降低了对冷却水的要求。此外,坚固耐用的不锈钢构造也可以将总拥有成本降至最低。该泵操作维护简单,最大程度地延长了正常工作时间,并且有优秀的安捷伦应用和技术支持团队提供支持。应用包括高真空应用、真空炉、涂覆、薄膜沉积和分子束外延。
公认的尖端扩散泵技术者
低成本的 HS 系列泵提供 2 英寸和 16 英寸至 35 英寸多种尺寸,具有速度快、极限压力低、通量高、前级耐压高和低返油的特点。HS 系列扩散泵附带过热保护开关和可选的速冷盘管。16 英寸至 35 英寸泵附带油位观察窗/注油和放油组件,并提供 ASA 或 ISO 法兰。
简单介绍
抽速160 L/s,Varian公司作为全世界范围内的扩散泵供应商,为客户提供范围最广泛的扩散泵系列,口径从2英寸到35英寸。而且,也是美国唯一的一个全系列的扩散泵供应商。大抽速,高排气量,适用于10-1—10-8mbar。
应用领域:
油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、原子能、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。
特点:
※大抽速、大抽气量
※抗辐射、抗氧化、快速循环.抗爆炸.
※高前级耐压
※高极限真空度
※返油量极低
※超常的使用寿命
扩散泵(AX,HS,VHS,NHS型号)参数对照
型号 | AX-65 | HS-2 | VHS-4 | VHS-6 | VHS-250 | 抽速空气,L/s | 65 | 160 | 750 | 1550 | 2125 | 最大前级耐压Torr/mbar 没有负载 有负载 | 0.75/1.0 0.6/0.78 | 0.55/0.72 0.4/0.52 | 0.65/0.86 0.55/0.73 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 推荐前级泵抽速m3/hr | 0.15/0.25 | 5.0/8.5 | 10/17 | 17/28.9 | 17/28.9 | 返油率mg/cm2/min 标准冷带 | 2×10-4 | 1×10-3 | 5×10-4 | 5×10-4 | 5×10-4 | 启动时间(min) | 7 | 15 | 10 | 10 | 15 | 电源 | 1ph,50Hz, 220V | 1ph,50Hz, 240V | 1ph,50Hz 240V | 1ph,50Hz, 240V | 3ph,50Hz, 240V | 功率 | 200/250 | 450 | 1450 | 2200 | 2200 | 冷却水l/hr,15-26°C | N/A | 0.1/20 | 0.15/30 | 0.25/50 | 0.25/50 |
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型号 | VHS-10 | VHS-400 | HS-16 | HS-32 | NHS-35 | 抽速空气,L/s | 3650 | 4500 | 6000 | 17300 | 28000 | 最大前级耐压Torr/mbar 没有负载 有负载 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 0.65/0.85 0.55/0.72 | 0.65/0.82 0.55/0.72 | 0.50/0.65 0.35/0.45 | 0.55/0.71 0.40/0.52 | 推荐前级泵抽速m3/hr | 30/51 | 30/51 | 80/136 | 300/510 | 300/510 | 返油率mg/cm2/min 标准冷带 | 5×10-4 | 1×10-3 | 1.5×10-3 | 7×10-4 | 5×10-4 | 启动时间(min) | 15 | 30 | 45 | 60 | -- | 电源 | 3ph,50Hz, 380V | 3ph,50Hz, 380V | 3ph,50Hz, 380V | 3ph,50Hz, 380V | 3ph,50Hz, 380V | 功率 | 4400 | 4400 | 8100/9600 | 24000 | 24000 | 冷却水l/hr,15-26°C | 0.4/80 | 0.4/80 | 1.5/300 | 4.0/800 | 4.0/800 |
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