技术参数
观察图像: 正像
光管: Siedentoph 型 (可调瞳距：51 -
76mm), 1X 光管镜头、
双目目镜( 俯角：30o),
十字投影法、带有TV 插板、
光通比、(目镜/TV 插板：50/50)
目镜 : 10X (视场直径：24mm),
可选: 15X, 20X
转盘 (选件): 手动或电动旋转盘
物镜 (选件): 从1X - 100X 的M/BD Plan Apo 物镜
(详见384 页)
轮廓照明
? 光源: 卤素灯泡(12V, 50W)
? 光学系统: 带有可调整光圈的远心照明系统
? 功能: 光强度可调、无级亮度调整
表面照明
? 光源: 卤素灯泡照明选件(光纤冷光照明)
? 光学系统: 带有可调整光圈的科勒照明系统
? 功能: 光强度可调、无级亮度调整
显示装置:
? 轴数: 2 轴或3 轴
? 分辨率: 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm/
.0001" / .00005" / .00001"
? 功能: 调零、方向转换、
数据输出(通过 RS-232C 接口)
电源: 100/110/120/220/240V AC, 50/60Hz
重量 65.5kg (505B, 1010B),
69.5kg (2010B),
130kg (2017B),
138kg (3017B),
144kg (4020B)

性能参数
型号 (XY 工作台尺寸) 505B 1010B 2010B 2017B 3017B 4020B
货号MF-UA 176-567* 176-568* 176-569* 176-570* 176-571* 176-572*
MF-UB 176-587* 176-588* 176-589* 176-590* 176-591* 176-592*
MF-UC 176-573* 176-574* 176-575* 176-576* 176-577* 176-578*
MF-UD 176-593* 176-594* 176-595* 176-596* 176-597* 176-598*
XY 工作台移动范围50 x 50mm 100 x 100mm 200 x 100mm 200 x 170mm 300 x 170mm 400 x 200mm
Z 轴移动范围150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
调焦方式手动调焦(粗调焦：10mm/rev、微调焦：0.1mm/rev)
测量方法线性编码器(2 轴型：X / Y 轴、3 轴型：X / Y / Z 轴)
分辨率 (可转换) 0.001mm / 0.0005mm / 0.0001mm / .0001" / .00005" / .00001"
测量精度(20oC 时) XY 轴：(2.5+0.02L)μm, L 无负载测量长度(mm), JIS B 7153
指示精度(20oC 时) Z 轴：(5+0.04L)μm, L 为测量长度(mm)
浮动功能带有快速断开功能的X 和Y 轴
XY 工作台台面尺寸280 x 280mm 280 x 280mm 350 x 280mm 410 x 342mm 510 x 342mm 610 x 342mm
载物玻璃有效尺寸180 x 180mm 180 x 180mm 250 x 150mm 270 x 240mm 370 x 240mm 440 x 240mm
旋转功能— — — ±5o (左) ±5o (左) ±3o (左)
最大工件重量10kg 10kg 10kg 20kg 20kg 15kg
最大工件高度150mm 150mm 150mm 220mm 220mm 220mm
* 为区分交流电源电压，在货号后加上以下后缀(如：176-567A):
A 适于UL/CSA, D 适于CEE, E 适于BS, DC 适于中国、