国内条湿法回收多晶硅尾气（四氯化硅，三氯氢硅，HCL）成套设备已于近日开始在河北廊坊紧锣密鼓安装，此设备囊括两项专利技术，将于09年2月25日投入使用，该项技术拥有自主知识产权。
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