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螺杆式真空泵主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动从动转子旋转。同步
齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。一对旋向相反.由泵的两端盖的轴承支撑旋转的螺杆，将被抽气体吸 入，通过气体吸入.压缩.排气三个过程，达到抽气的目的。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间 隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合， 极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的替代产品。 螺杆式真空泵分为等螺距和变螺距干式罗杆真空泵，螺杆式真空泵设计紧凑，运行高效，螺杆与轴一体加工。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油 ，直通气路设计，该系列泵可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。
干式螺杆真空泵的典型应用：
• 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺
• 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等
• 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染
• 化学和医药流程
• 溶剂回收
• 成型、结晶、干刻、溅镀、蒸气回收、空中模拟 
干式螺杆真空泵的特点、优点
干式螺杆真空泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为1Torr（1.3mbara），极限真空可达0.01Torr（0.013mbara）在运转过程中没有油或水，泵腔无部分接触，短气通道可以使泵迅速排放，直接驱动或V皮带有加长的转子，操作安静----低于85分贝。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，该系列泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。主要特点：
没有油或水和过程气体接触
运行部件之间无金属相互接触
简单紧固的设计可以处理工作时产生的副产品——液体，冷凝物甚至微小颗粒
节省空间的设计除去了防护装置的需要
泵内气通道较短，气体排放更迅速
即使不使用消音装置，噪音也低于90dB(A) 
WD-LG3主要性能参数 型号 | WD-40LG3 | WD-80LG3 | WD-120LG3 | WD-180LG3 | WD-300LG3 | WD-360LG3 | 最大抽气速率（L/s） | 40 | 80 | 120 | 180 | 300 | 360 | 极限压力（mbar） | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 0.5 | 最高排气压力（bar） | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 电机功率（kW） | 4 | 7.5 | 11 | 18.5 | 30 | 37 | 转速（r/min） | 2890 | 2900 | 2900 | 2930 | 2900 | 2900 | 吸气口直径（mm） | DN40 | DN50 | DN80 | DN100 | DN125 | DN150 | 排气口直径（mm） | DN30 | DN40 | DN65 | DN80 | DN100 | DN125 | 齿轮腔用油量（L） | 1.3 | 1.6 | 2.2 | 4 | 10 | 12 | 冷却水用量（L/h） | 120 | 210 | 380 | 600 | 820 | 1000 | 冷却水允许最高压力（MPa） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 冷却气体量（m3/h） | 18 | 25 | 28 | 30 | 36 | 40 | 吸气端密封类型 | 骨架油封 | 排气端密封类型 | 骨架油封 | 轴伸处密封类型 | 骨架油封 | 噪声（dB） | 82 | 85 | 85 | 85 | 85 | 85 | 重量（kg） | 230 | 322 | 395 | 550 | 860 | 1080 | | | | | | | | | | | | |
WD-LG4主要性能参数 型号 | WD-40LG4 | WD-80LG4 | WD-120LG4 | WD-180LG4 | WD-300LG4 | WD-360LG4 | 最大抽气速率（L/s） | 40 | 80 | 120 | 180 | 300 | 360 | 极限压力（mbar） | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 0.1 | 最高排气压力（bar） | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 1.3 | 电机功率（kW） | 4 | 7.5 | 11 | 18.5 | 30 | 37 | 转速（r/min） | 2890 | 2900 | 2900 | 2930 | 2900 | 2900 | 吸气口直径（mm） | DN40 | DN50 | DN80 | DN100 | DN125 | DN150 | 排气口直径（mm） | DN30 | DN40 | DN65 | DN80 | DN100 | DN125 | 齿轮腔用油量（L） | 1.3 | 1.6 | 2.2 | 4 | 10 | 12 | 冷却水用量（L/h） | 120 | 210 | 380 | 600 | 820 | 1000 | 冷却水允许最高压力（MPa） | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 0.6 | 冷却气体量（m3/h） | 18 | 25 | 28 | 30 | 36 | 40 | 吸气端密封类型 | 骨架油封 | 排气端密封类型 | 骨架油封 | 轴伸处密封类型 | 骨架油封 | 噪声（dB） | 82 | 85 | 85 | 85 | 85 | 85 | 重量（kg） | 230 | 322 | 395 | 550 | 860 | 1080 |
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淄博沃德气体设备有限公司位于淄博科技工业园内，是一家集气体应用设备设计、研发、制造、销售为一体的技术型真空系统制造企业。产品主要有单、多级罗茨真空泵，爪泵，螺杆真空泵等干式真空泵，立式往复真空泵及各种压缩机。公司依托于高素质的团队，持续的创新能力，为用户提供优质的产品、专业的技术咨询和完善的服务。
沃德公司秉承产品为应用服务、应用源于流程的研发宗旨，为您的工艺流程提供最佳的解决方案和合理的系统配置。公司拥有最先进的加工设备和测试手段，保证了产品质量。公司结合不同行业流程需要相继研发出多级罗茨泵、 复合型多级泵等产品， 并开发VIP保温材料包装机真空系统、 RH干式真空冶炼机组，广泛应用于建筑、钢铁冶炼、石油、化工、制药等领域。
沃德公司不仅为您提供高品质的真空产品，而且提供专业的技术咨询及服务。为了满足不同行业的需要，沃德公司设计和生产旋片式真空泵、水环式真空泵、往复式真空泵、罗茨式真空泵、高真空油扩散泵以及相关真空机组等真空获得设备以及相关配套产品。在真空获得领域，沃德公司的产品覆盖了整个低－中真空的范围（1个大气压~10－4Pa。）在真空应用领域，可为用户设计制造真空干燥机、真空负压装置、真空吸附工作台、真空给湿机、真空浓缩、真空蒸馏、全自动真空包装机、真空冶炼等各种设备。
沃德公司，始终视为客户提供全线真空解决方案为已任。 凭借多年的经验，充分了解客户的要求，洞悉真空系统问题的关键所在。
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