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螺杆式真空泵主要由螺杆转子、壳体、齿轮、冷却循环和密封件构成。传动轴连接主动转子，通过高精度的同步齿轮带动从动转子旋转。同步齿轮及轴承用油润滑，轴承和壳体内部通过密封件来密封以达到无油的效果。一对旋向相反.由泵的两端盖的轴承支撑旋转的螺杆，将被抽气体吸 入，通过气体吸入.压缩.排气三个过程，达到抽气的目的。两螺杆经精细动平衡校正，由轴承支撑，安装在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间 隙，因此泵工作时，相互之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需润滑油，因此，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合， 极限真空更高，消耗功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的替代产品。 螺杆式真空泵分为等螺距和变螺距干式罗杆真空泵，螺杆式真空泵设计紧凑，运行高效，螺杆与轴一体加工。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油 ，直通气路设计，该系列泵可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。
干式螺杆真空泵的典型应用：
• 低压化学气相沉积中的多晶硅制备工艺、半导体刻蚀工艺
• 在化学工业、医药工业、食品工业中的蒸馏、干燥、脱泡、包装等
• 用做一般无油清洁真空系统的前级泵，以防止油污染
• 化学和医药流程
• 溶剂回收
• 成型、结晶、干刻、溅镀、蒸气回收、空中模拟 
干式螺杆真空泵的特点、优点
干式螺杆真空泵可以从大气压下开始全速抽吸至压力为1Torr（1.3mbara），极限真空可达0.01Torr（0.013mbara）在运转过程中没有油或水，泵腔无部分接触，短气通道可以使泵迅速排放，直接驱动或V皮带有加长的转子，操作安静----低于85分贝。干式螺杆真空泵腔内完全无水无油，直通气路设计，该系列泵都可以处理含可凝性蒸气的气体和含微小颗粒而不会残留在泵内的气体。主要特点：
没有油或水和过程气体接触
运行部件之间无金属相互接触
简单紧固的设计可以处理工作时产生的副产品——液体，冷凝物甚至微小颗粒
节省空间的设计除去了防护装置的需要
泵内气通道较短，气体排放更迅速
即使不使用消音装置，噪音也低于90dB(A) 
|
2BE1水环真空泵性能表 型号 | 转速
（传动方式）
r/min | 轴功率
kW | 电机功率
kW | 配用电机
380V | 极限真空度
mbar | 最大抽气速率 | 泵重
(整机）
kg | 安装尺寸 | m3/h | m3/min | 2BE1 102-0
点击查看性能曲线 | 1450（直联）
1300（皮带）
1625（皮带）
1750（皮带） | 5.8
5.0
6.8
8.0 | 7.5
7.5
7.5
11 | Y132M-4
Y132M-4
Y132M-4
Y160M-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 235
210
270
290 | 3.9
3.5
4.5
4.8 | 295
311
311
346 | 泵头安装尺寸
直联传动安装尺寸
| 2BE1 103-0
点击查看性能曲线 | 1450（直联）
1300（皮带）
1625（皮带）
1750（皮带） | 8.2
7.0
9.9
11.1 | 11
11
15
15 | Y132M-4
Y132M-4
Y132M-4
Y160M-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 340
300
385
412 | 5.7
5.0
6.4
6.9 | 363
347
388
388 | 2BE1 151-0
点击查看性能曲线 | 1450（直联）
1100（皮带）
1300（皮带）
1625（皮带）
1750（皮带） | 10.8
7.2
9.2
13.2
14.8 | 15
11
11
15
18.5 | Y160L-4
Y160M-4
Y160M-4
Y160L-4
Y180M-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 405
300
360
445
470 | 6.8
5.0
6.0
7.4
7.8 | 469
428
444
469
503 | 2BE1 152-0
点击查看性能曲线 | 1450（直联）
1100（皮带）
1300（皮带）
1625（皮带）
1750（皮带） | 12.5
8.3
10.5
15.0
17.2 | 15
11
15
18.5
22 | Y160L-4
Y160M-4
Y160L-4
Y180M-4
Y180L-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 465
340
415
510
535 | 7.8
5.7
6.9
8.5
8.9 | 481
437
481
515
533 | 2BE1 153-0
点击查看性能曲线 | 1450（直联）
1100（皮带）
1300（皮带）
1625（皮带）
1750（皮带） | 16.3
10.6
13.6
19.6
22.3 | 18.5
15
18.5
22
30 | Y180M-4
Y160L-4
Y180M-4
Y180L-4
Y200L-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 600
445
540
660
700 | 10.0
7.4
9.0
11.0
11.7 | 533
480
533
551
601 | 2BE1 202-0
点击查看性能曲线 | 970（直联）
790（皮带）
880（皮带）
1100（皮带）
1170（皮带）
1300（皮带） | 17
14
16
22
25
30 | 22
18.5
18.5
30
30
37 | Y200L2-6
Y180M-4
Y180M-4
Y200L-4
Y200L-4
Y225S-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 760
590
670
850
890
950 | 12.7
9.8
11.2
14.2
14.8
15.8 | 875
850
850
940
945
995 | 泵头安装尺寸
直联传动安装尺寸
皮带传动安装尺寸 | 2BE1 203-0
点击查看性能曲线 | 970（直联）
790（皮带）
880（皮带）
1100（皮带）
1170（皮带）
1300（皮带） | 27
20
23
33
37
45 | 37
30
30
45
45
55 | Y250M-6
Y200L-4
Y200L-4
Y225M-4
Y225M-4
Y250M-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 1120
880
1000
1270
1320
1400 | 18.7
14.7
16.7
21.2
22.0
23.3 | 1065
995
995
1080
1085
1170 | 2BE1 252-0
点击查看性能曲线 | 740（直联）
558（皮带）
660（皮带）
832（皮带）
885（皮带）
938（皮带） | 38
26
31.8
49
54
60 | 45
30
37
55
75
75 | Y280M-8
Y200L-4
Y225S-4
Y250M-4
Y280S-4
Y280S-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 1700
1200
1500
1850
2000
2100 | 28.3
20.0
25.0
30.8
33.3
35.0 | 1693
1460
1515
1645
1805
1805 | 2BE1 253-0
点击查看性能曲线 | 740（直联）
560（皮带）
660（皮带）
740（皮带）
792（皮带）
833（皮带）
885（皮带）
938（皮带） | 54
37
45
54
60
68
77
86 | 75
45
55
75
75
90
90
110 | Y315M-8
Y225M-4
Y250M-4
Y280S-4
Y280S-4
Y280M-4
Y280M-4
Y315S-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 2450
1750
2140
2450
2560
2700
2870
3020 | 40.8
29.2
35.7
40.8
42.7
45.0
47.8
50.3 | 2215
1695
1785
1945
1945
2055
2060
2295 | 2BE1 303-0
点击查看性能曲线 | 740（直联）
590（直联）
466（皮带）
521（皮带）
583（皮带）
657（皮带）
743（皮带） | 98
65
48
54
64
78
99 | 110
75
55
75
75
90
132 | Y315L2-8
Y315L2-10
Y250M-4
Y280S-4
Y280S-4
Y280M-4
Y315M-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 4000
3200
2500
2800
3100
3580
4000 | 66.7
53.3
41.7
46.7
51.7
59.7
66.7 | 3200
3200
2645
2805
2810
2925
3290 | 泵头安装尺寸
直联传动安装尺寸
皮带传动安装尺寸 | 2BE1 305-1
2BE1 306-1
点击查看性能曲线 | 740（直联）
590（直联）
490（皮带）
521（皮带）
583（皮带）
657（皮带）
743（皮带） | 102
70
55
59
68
84
103 | 132
90
75
75
90
110
132 | Y355M1-8
Y355M1-10
Y280S-4
Y280S-4
Y280M-4
Y315S-4
Y315M-4 | 160mbar
(-0.085MPa) | 4650
3750
3150
3320
3700
4130
4650 | 77.5
62.5
52.5
55.3
61.2
68.8
77.5 | 3800
3800
2950
3000
3100
3300
3450 | 2BE1 353-0
点击查看性能曲线 | 590（直联）
390（皮带）
415（皮带）
464（皮带）
520（皮带）
585（皮带）
620（皮带）
660（皮带） | 121
65
70
81
97
121
133
152 | 160
75
90
110
132
160
160
185 | Y355L2-10
Y280S-4
Y280M-4
Y315S-4
Y315M-4
Y315L1-4
Y315L1-4
Y315L2-4 | 33mbar
(-0.098MPa) | 5300
3580
3700
4100
4620
5200
5500
5850 | 88.3
59.7
61.7
68.3
77.0
86.7
91.7
97.5 | 4750
3560
3665
3905
4040
4100
4100
4240 | 2BE1 355-1
2BE1 356-1
点击查看性能曲线 | 590（直联）
390（皮带）
435（皮带）
464（皮带）
520（皮带）
555（皮带）
585（皮带）
620（皮带） | 130
75
86
90
102
115
130
145 | 160
90
110
110
132
132
160
185 | Y355L2-10
Y280M-4
Y315S-4
Y315S-4
Y315M-4
Y315M-4
Y315L1-4
Y315L2-4 | 160mbar
(-0.085MPa) | 6200
4180
4600
4850
5450
5800
6100
6350 | 103.3
69.7
76.7
80.8
90.8
98.3
101.7
105.8 | 5000
3920
4150
4160
4290
4300
4350
4450 |
注：以上所选电机功率可在大多工况下工作。如排气口压力较高（0.02~0.05MPa），则应相应加大电机功率；如2BE1真空泵正常工作时轴功率较小，也可选用接近轴功率的电机功率，如此更为节能。 注：水环真空泵的水温对其性能影响较大，而水环真空泵的性能曲线均为在15℃的水温条件下测得，因此在实际选用水环真空泵时应对水环真空泵的抽气速率进行修正。 |
2BE1系列水环真空泵耗水量
型号 | 标准转速 rpm | 转速范围 rpm | 在以下吸入压力（mbar,绝压）时的耗水量 m3/h | ≤160 | 200 | 300 | 400 | 500 | 600 | 700 | ＞800 | 2BE1 102-0 | 1450 | 1300~1750 | 1.1 | 1.1 | 0.73 | 0.73 | 0.73 | 0.73 | 0.36 | 0.36 | 2BE1 103-0 | 1450 | 1300~1750 | 1.4 | 1.4 | 0.93 | 0.93 | 0.93 | 0.93 | 0.47 | 0.47 | 2BE1 151-0 | 1450 | 1100~1750 | 1.5 | 1.5 | 1 | 1 | 1 | 1 | 0.5 | 0.5 | 2BE1 152-0 | 1450 | 1100~1750 | 1.7 | 1.7 | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 1.13 | 0.57 | 0.57 | 2BE1 153-0 | 1450 | 1100~1750 | 1.9 | 1.9 | 1.27 | 1.27 | 1.27 | 1.27 | 0.63 | 0.63 | 2BE1 202-0 | 980 | 790~1300 | 2.1 | 2.1 | 1.4 | 1.4 | 1.4 | 1.4 | 0.7 | 0.7 | 2BE1 203-0 | 980 | 790~1300 | 2.6 | 2.6 | 1.73 | 1.73 | 1.73 | 1.73 | 0.87 | 0.87 | 2BE1 252-0 | 740 | 558~938 | 4.4 | 4.4 | 2.93 | 2.93 | 2.93 | 2.93 | 1.47 | 1.47 | 2BE1 253-0 | 740 | 560~938 | 5.2 | 5.2 | 3.47 | 3.47 | 3.47 | 3.47 | 1.73 | 1.73 | 2BE1 303-0 | 660 | 466~743 | 8.5 | 8.5 | 6.8 | 6.8 | 5.7 | 5.7 | 2.9 | 2.9 | 2BE1 303-2 | 660 | 466~743 | - | 9.1 | 7.9 | 6.7 | 5.6 | 4.4 | 3.2 | 2.0 | 2BE1 305-1 | 660 | 466~743 | 8.2 | 8.2 | 7.8 | 7.0 | 6.0 | 5.1 | 4.2 | 3.3 | 2BE1 306-1 | 660 | 466~743 | 8.2 | 8.2 | 7.8 | 7.0 | 6.0 | 5.1 | 4.2 | 3.3 | 2BE1 353-0 | 530 | 372~660 | 11.2 | 11.2 | 9.0 | 9.0 | 7.5 | 7.5 | 3.8 | 3.8 | 2BE1 353-2 | 530 | 372~660 | - | 12.1 | 10.5 | 9.0 | 7.4 | 5.8 | 4.3 | 2.7 | 2BE1 355-1 | 530 | 372~660 | 10.9 | 10.9 | 10.4 | 9.3 | 8.0 | 6.7 | 5.5 | 4.3 | 2BE1 356-1 | 530 | 372~660 | 10.9 | 10.9 | 10.4 | 9.3 | 8.0 | 6.7 | 5.5 | 4.3 |
注：1、工作液种类：通常情况下用水，标准温度15℃（范围0℃至65℃）；或其温度至少要低于其沸点10℃。
2、以上耗水量为在标准转速下所需的耗水量，对不同转速，数据表中的流量值应乘以（实际转速&pide;标准转速）
3、如需增加工作液流量，则数据表中的流量加倍。 |
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淄博沃德气体设备有限公司位于淄博科技工业园内，是一家集气体应用设备设计、研发、制造、销售为一体的技术型真空系统制造企业。产品主要有单、多级罗茨真空泵，爪泵，螺杆真空泵等干式真空泵，立式往复真空泵及各种压缩机。公司依托于高素质的团队，持续的创新能力，为用户提供优质的产品、专业的技术咨询和完善的服务。
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