气体管路实验室分析仪器，气体管路非标实验设备，气体管路连接及

接头的设计加工。从气瓶房到实验室气体管路的气体管线，实验室内

气路箱的设计安装，气体报警装置的设计安装。
　　使用最先进的自动焊接施工工艺安装管道、减压器、压力表、高

压金属软管、钢瓶接头、焊接接头、卡套接头、不锈钢洁净管等。

（1）易燃性气体
把自燃、易燃、可燃气体等都定义为这类气体。如常温下的SiH4气体

只要与空气接触就会燃烧，当环境温度达到一定时，PH3与B2 H6等气

体也会产生自燃。可燃易燃气体都有一定的着火燃烧爆炸范围，即上

限、下限值。此范围越大的气体起爆炸燃烧危险性就越高，如B 2H6的

爆炸上限为98%，爆炸下限为0.9%。属于易燃气体有H

2,NH3,PH3,DCS,ClF3 。

毒性气体（Toxic Gas）：半导体制造行业中使用的气体很多都是对人

体有害、有毒的。其中又以AsH3, B 2H6,PH3等气体的毒性最大，它们

的阈限值TLV（Threshold Limited Valve）分别只有50×10-9,100×

10 -9,300×10-9。这些气体在工作环境中的允许浓度极微，因此在贮

存、输送以及使用的过程中都要求特别的小心。一般都应该采取特定

的技术措施来控制使用这些气体。NO, C4F6,C5F8 ,NF3,CH 3F等都属

于毒性气体。

（3）腐蚀性气体（Corrosive Gas）：这些腐蚀性气体通常同时也兼

有较强的毒性。腐蚀性气体在干燥状态下一般不易侵蚀金属，但在遇

到水的环境下就显示出很强的腐蚀性，如HCl, HF, PCl3, SiF4,ClF3

，WF6等。

惰性气体(Inert Gas)： 隋性气体本身一般不会直接对人体产生伤害

，在气体传输过程中，相对于安全上的要求不如以上其他气体严格。

但惰性气体具有窒息特性，在密闭空间若发生泄漏会使人窒息而造成

工伤事故。属于这类的气体有C2 F6,CF4,SF6,CHF 3等。

（5）氧化性气体（Oxide Gas）：这类气体有较强的氧化性，一般同

时具有其他特性，如毒性或腐蚀性等。属于这类的气体有ClF3

,Cl2,NF3等。
 
（6）大宗气体。属于这类气体有N2，O2，CO2等

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