超薄型、輕量化平臺-採用Mini stage Xyθ 模組化結構,實現無中座的薄且輕的機構
★ 透過特殊交叉滾柱軸承施加預壓,達高剛性、高精度表現
★ 中空結構設計,可作為光學式檢查裝置或導通測試器使用
★ 材料皆經超深冷處理,有效預防變型,大幅提升使用壽命,品質及效能
★ 實行三次元全檢,保證滑台出廠精度與品質