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气密罐式实验炉根据温度的不同配有直接或间接加热装置。这类实验炉型适于各种需要预定的保护或反应气体环境的热处理工艺。即便是对于 600 ℃ 以下的真空热处理,这种紧凑型的实验炉型同样适合。炉腔由一个气密罐构成,气密罐在门范围内配有一个水冷却装置,用于保护的密封装置。配有相应安全装置的罐式炉同样适于氢气这种反应气体环境下的应用,或配以 IDB 工序包用于惰性排胶或热解工艺。
根据工艺要求的温度范围的不同,采用不同的炉型:
NRA ../06 型,使用温度为 650 ℃
- 安装在气密罐内部的加热元件
- 温度均匀性达到 ±5℃,在 100 - 600 的有效范围内
- 由日本601 材质制成的气密罐
- 在气密罐后部区域设有循环鼓风机,用于优化温度均匀性
NRA ../09 型,使用温度为 950 ℃
- 在气密罐外部及周边分布的加热元件和一个额外的炉门加热装置
- 温度均匀性达到 ±5℃,在 200 - 900 的有效范围内
- 由 日本601材质制成的气密罐
- 在气密罐后部区域设有循环鼓风机,用于优化温度均匀性
N../11 型,使用温度为 1100 ℃
- 在气密罐外部及周边分布的加热元件和一个额外的炉门加热装置
- 温度均匀性达到 ±5℃,在 200 - 1050 的有效范围内
- 由 日本601材质制成的气密罐
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