安捷伦旋涡式干泵采用两个旋涡盘复合成的机械结构，由一个漩涡嵌入另一个漩涡并转动来补集气体。旋涡式干泵具有噪音低，震动小，结构简单，运行稳定，维护间隔周期长等优点，而且不易发生可能引起灾难性后果的突发的故障。

具体型号：

IDP-2，IDP-3，IDP-15，SH-110，TriScroll 300,TriScroll 600,TriScroll 300 lnverter,TriScroll 600 lnverter,TriScroll 800 lnverter