FRT表面轮廓测试仪​

 FRT表面轮廓测试仪有FRT Microspy，MicroProf，MicroGlider等几大类型，测试的垂直分辨率从纳米量级到微米量级不等，可根据需要灵活配置不同的探头，也可进行升级配置，实现多应用测试。同时配置的测试软件，可实现自动化测试，其优越的测试速度，在半导体晶圆测试中可实现快速有效性测试。​

• MicroSpy
• MicroProf 系列
• MicroProf Vision
• MicroProf® TTV
• MicroProf Mobile
• MicroProf Twist
• Microprof Glinder
• MicroGlider
• Sensor CWL FT
• AFM

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MicroSpy 三维轮廓仪

MicroSpy TG 和MicroSpy CF

MicroSpy TG：激光全息偏振测量

MicroSpy CF：激光共焦谐振测量

测量参数：平面度、2D/3D外形轮廓、几何尺寸、角度等

 

	MicroSpy TG	MicroSpy CF
测量原理	激光全息偏振	激光共焦谐振
测量范围Z	1.8-35mm	1mm
工作距离	15-90mm	4mm
Z轴分辨率	0.4-4μm	100nm（选项50nm）
X，Y分辨率	12-35μm	1μm
测量角度	90°±70°	90°±25°

 

应用场合：高精密测量，如汽车零部件、微型注塑模等。

• FRT表面轮廓测试仪有FRT Microspy，MicroProf，MicroGlider等几大类型，测试的垂直分辨率从纳米量级到微米量级不等，可根据需要灵活配置不同的探头，也可进行升级配置，实现多应用测试。同时配置的测试软件，可实现自动化测试，其优越的测试速度，在半导体晶圆测试中可实现快速有效性测试。

详细描述

MicroProf 系列

	MicroProf 100	MicroProf 200	MicroProf 300	MicroProf 600
测量范围*	100×100mm	200×200mm	300×300mm	600×600mm
测量速度	100mm/sec
零件高度*	50mm
工作台	直线电机驱动 heidenhain光栅尺
仪器结构	花岗岩悬臂结构	花岗岩龙门结构

*---根据不同测量要求，为可选项

配置包括：

■色差白光传感器

■照明与定位摄像头

■花岗岩防震结构基座

■高精密工作台

■电脑和电气控制柜

■ MARK III分析软件

■多种测量传感器可选

应用领域----从科研到生产

半导体加工

薄膜加工

汽车工业

造纸业

半导体检测

MEMS

 
地址：北京大郊亭中街华腾国际3座11A
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