臭氧，是氧的同素异形体，其分子含有三个氧原子，分子式为O3，常温下为无色气体，有一股特殊的草腥味，有的氧化能力，稳定性极差，常温下可自行分解为氧，通常以稀薄的状态混合于大气中。

臭氧消毒原理可以认为是一种氧化反应。

  臭氧对细菌灭活的机理： 臭氧对细菌的灭活反应总是进行的很迅速。与其它杀菌剂不同的是：臭氧能与细菌细胞壁脂类双键反应,穿入菌体内部，作用于蛋白和脂多糖，改变细胞的通透性，从而导致细菌死亡。臭氧还作用于细胞内的核物质，如核酸中的嘌呤和嘧啶破坏DNA。