产品简介
该真空镀膜机是针对铣刀、拉刀、钻头等工具的硬质薄膜研发,工架的设计能限度提高每炉的产品数量,转架采用下传动结构;数字调节渐起渐停,变频调速,双级行星式旋转的转架系统,适合于对小体积工件进行加工。
产品说明
该真空镀膜机是针对铣刀、拉刀、钻头等工具的硬质薄膜研发,工架的设计能限度提高每炉的产品数量,转架采用下传动结构;数字调节渐起渐停,变频调速,双级行星式旋转的转架系统,适合于对小体积工件进行加工。
特点:
1、采用国际先进水平的阳极层离子源和国内领先水平的平面矩形弧源
2、拥有多路反馈式控制系统:弧源控制,气路控制,工艺控制
3、采集工艺存盘、报警数据、方便数据采集及设备维修
4、独特八面体腔体设计,既提高设备空间利用率又起到方便维护和检修。
5、可镀超硬涂层如:TiN、TiC、ZrN、CrN、TiCN TiAlN、DLC等。
产品参数
型号 | HC-850 | HC-1000 | HC-1200 | HC-1500 |
负载直径 | 500mm | 650mm | 650mm | 900mm |
负载高度 | 500mm | 650mm | 850mm | 1500mm |
转轴托盘 | 8 | 6-12 | 6-16 | 9-18 |
转轴悬挂 | variable | - | - | - |
负载数量 | 250kg | 500kg | 500kg | 1200kg |
应用技术 | ACA,CARC,UBM,DMS | ACA,CARC,UBM,DMS Hybrid,PACVD,Laser arc,HIPIMS,HIPIMS+ | ACA,CARC,UBM,DMS Hybrid,PACVD, HIPIMS,HIPIMS+ | ACA,CARC,UBM,DMS Hybrid,PACVD |
应用范围 | 快速工具涂层 快速汽车零部件涂层 快速装饰涂层 研发应用 | 大量工具涂层 研发 中型零部件涂层 | 大量小型零部件涂层 中型模具,拉刀涂层 装饰涂层 | 大量装饰涂层 大量大型汽车零部件涂层 大型挤压模,压铸模,拉刀 |
涂层 | 应用 | 显微硬度 | 厚度 | 摩擦系数 | 沉积温度 范围(℃) | 最高工作 温度(℃) | 应用技术 | 涂层系 统代码 |
TiN | Tool | 2500 | 1-6 | 0.7 | <600 | 600 | ACA/CARC /HIPIMS+ | A |
AlTiN | Tool | 2500-3500 | 1-6 | 0.4 | <600 | 900 | ACA/CARC /HIPIMS+ | A |
AlTiN+W-C:N | Tool | 2000-2500 | 1-6 | 0.2 | 150-450 | 450 | HYBRID | A |
AlTiN+Al2O3 | Tool | 2300 | 2-4 | 450-600 | 1100 | HYBRID | B | |
AlCrN | Tool | 3000 | 1-10 | 0.35 | <600 | 1100 | ACA/CARC /HIPIMS+ | B |
TiSiN | Tool | 3500 | 1-3 | 0.5 | <600 | 1500 | ACA/CARC | A |
TiCN | Tool | 3000 | 1-4 | 0.4 | <600 | 600 | ACA/CARC /HIPIMS+ | A |
TiAlN | Tool | 2500-3500 | 1-6 | 0.4 | <600 | 800 | ACA/CARC | A |
TiN/TiAlN | Tool | 2500-3500 | 1-6 | 0.4 | <600 | 800 | ACA/CARC | A |
CrCN | Tool | 2000-2200 | 1-4 | 0.4 | 450-600 | 600 | ACA/CARC | A |
CrN+W-C:H | Tool/ Tribo | 2000-2500 | 1-6 | 0.2 | 150-450 | 450 | HYBRID/UBM | A |
CrN | Tool/ Tribo | 1500-2500 | 1-30 | 0.5 | 150-450 | 700 | ACA/CARC/ UBM/HIPIMS+ | A |
Cr2N | Tool/ Tribo | 1500-3000 | 1-5 | 0.5 | 200-600 | 700 | UBM/HIPIMS | A |
Cr+W-C:H | Tool/ Tribo | 1200-2000 | 1-5 | 0.1-0.2 | 160-300 | 400 | UBM | A |
Cr+W-C:H +DLC | Tool/ Tribo | 2000-4000 | 1-3 | 0.05-0.15 | 160-300 | 350 | UBM/UBM +PACVD | A |
CrN+W- C:H+DLC | Tool/ Tribo | 2000-4000 | 1-3 | 0.05-0.15 | 160-300 | 350 | UBM/UBM +PACVD | A |
Cr+W-C:H +Si-DLC | Tool/ Tribo | 1500-2500 | 1-5 | 0.02-0.1 | 160-300 | 450 | UBM/PACVD | A |
ta-C | Tool/ Tribo | 4000-7000 | 1-3 | 0.05-0.15 | 80-200 | >500 | CARC | C |
Ti/Cr/Zr Carbon Nitrides | Deco | 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色 | ACA | A | ||||
Ti/Cr/Zr Carbon Nitrides | Deco | 可重复颜色,例如:抛光铜,镍,不锈钢,黑色和金色 广泛的色彩范围(低L值) | UBM | A | ||||
Multilayer coatings | Deco | 不同的基底涂层,例如TIN,CRN,类金刚石DLC,在软基底 上获得的总硬度>650HV。高光泽,同时也应用于厚涂层 | UBM/PACVD /ACA | A | ||||
Metallization | Deco | 非反应(性)PVD,纯金属的沉积 | UBM | A |
注:
1.厚度值针对标准使用情况,可根据客户需求调整
2.设备工作温度可设定为最高工作温度下任一温度值
3.涂层系统代码:A=所有系统 B=F850,F1000,F1200 C=F850,F1000
应用技术 | 技术 | 说明 |
ACA | 先进的受控阴极电弧 | 在整个平面阴极上电磁控制的电弧 |
CARC | 圆弧 | 在圆形精细阴极上电弧 |
UBM | 非平衡磁控溅射 | 在闭合区域内用线圈增强等离子体密度的溅射 |
DMS | 对靶磁控溅射 | 增强等离子体密度磁控溅射,适合制备氧化物涂层,工艺过程稳定 |
HYBRID | 电弧与溅射结合 | 电弧镀附着力强,溅射镀能获得特定性能 |
PACVD | 等离子辅助化学想象沉积 | 等离子辅助的气相沉积 |
HIPIMS+ | 高能脉冲磁控溅射 | 适合工业应用,非常高的等离子体离下获得良好结合力和涂层致密度 |