规格型号
MTM-1510M
MTM-2010M
工作行程X、Y、Z轴
150*100*120(mm)
200*100*120(mm)
金属台尺寸
210*160(mm)
260*160(mm)
玻璃台尺寸
354*228(mm)
404*228(mm)
光学尺分辨率
0.5μm
示值误差
X、Y坐标≤(3+L/75)μm (L为测量长度,单位mm)
影像系统
彩色1/2"CCD摄像机;640*480像素;结合测量软件
显微镜系统
目镜:10倍
滤光片:红,蓝,绿,白
测量模式:反射,透射,偏光
5孔物镜转换器
物镜放大倍率误差
包括畸变在内的放大率误差≤0.008%
总放大倍数
50X——500X
照明系统
透射照明光源:白光LED,亮度可调
同轴照明光源:卤素灯,亮度可调
物镜
倍率
5X
10X
20X
50X
工作距离(mm)
26.1
20.2
8.8
3.68
高度量测模块(选配件)
光干涉高度量测模块(M10-CA),高度量测分辨力0.5μm(选配)
倍率:10X,工作距离5mm,光学分辨力2μm
其它参数
外形尺寸(mm)
590*560*850
仪器重量(kg)
100
110
电源功耗
110V—220V 50/60Hz <60W
单层透明膜厚度测量模式
高精度测量模式
快速测量模式
厚度测量范围
100nm-300nm
300nm-500nm
500nm-3μm
3μm-20μm
分辨力
5nm
7.5nm
0.1μm
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