062 闭回路控制及等离子体掺杂制程中利用飞行时间离子器的制程化
[摘要] 一种利用一飞行时间离子器来控制一等离子体掺杂制程的方法包括于一等离子体腔中产生一包含多个掺杂离子的等离子体,等离子体接近一平台,平台承载一基板。利用一偏压波形偏压该平台,偏压波形具有一负电位,负电位将等离子体中的离子吸引至基板,以进行等离子体掺杂。利用一飞行时间离子器来量测等离子体中出现的离子的谱,其中该谱为离子重量的函数。以法拉第量测系统来测定撞击该基板的离子总数。由所量测的离子的谱来判定一布植曲线。由所测定的离子总数和所算出的布植曲线来判定一积分剂量。依据所算出的该积分剂量来至少一等离子体掺杂参数。
013 具有多个射频源频率的等离子体腔体
[摘要] 本发明提供一种处理半导体基板的方法与装置。一种等离子体反应装置具有由数个射频功率来源驱动的电容式电极,且电极电容在所需等离子体密度与射频功率频率上与等离子体的负电容相匹配,以提供一电极等离子体共振支持宽制程窗,以于其中维持等离子体。
036 槽型等离子体显示板维持驱动电路
[摘要] 一种槽型等离子体显示板(SMPDP)维持驱动电路,属于等离子显示板驱动电路,其特征是它主要由电压控制驱动电路(1)、正电压维持电压脉冲发生器(2)、正电压能量恢复保持电路(3)、负电压维持电压脉冲发生器(4)、负电压能量恢复保持电路(5)、行IC芯片保护电路(6)、PDP高压行驱动IC芯片(7)组成,PDP高压行驱动IC芯片(7)的输出端接槽型等离子体显示板(8)。它解决了现有的维持驱动电路可靠性较低的问题,可在维持期内减少行IC芯片的开关次数,避免损耗引起的行IC芯片发热情况,有利于提高槽型等离子体显示板(SMPDP)的维持驱动电路的可靠性。
074 非热等离子体反应器
[摘要] 本实用新型属空气消净化技术领域,涉及非热等离子体反应器。该反应器包括正电极、负电极和外壳,正电极置于相邻两个负电极中间部位,外壳前端设有进风口,后端设有出风口;其特征在于正电极是由若干条金属丝或金属带设在同一平面内,按等距离平行排列制成一个组件;负电极是铝板或不锈钢板制成;正电极的两端固定在阻止放电导电轨上,导电轨的两端再与正电极金属固定,每根正电极金属经绝缘连接柱与外壳固定,并作电连通。本实用新型有效阻止正电极的放电现象,延长了金属丝或金属带工作寿命,增强反应器产生的等离子体浓度,而且节能。它广泛应用于非热等离子体空气消净化器。
028 金属网板型等离子体显示平板用改进型驱动电路
[摘要] 本发明针对金属网板型等离子体显示平板急需高性能、低成本驱动电路的问题,公开了一种结构简单,成本低,易于实现的金属网板型等离子体显示平板用改进型驱动电路,它主要由正电压能量恢复模块(1)、正电压维持模块(2)、正向复位模块(3)、负电压能量恢复模块(4)、负电压维持模块(5)、隔离续流模块(6)、负向复位模块(7)、寻址模块(8)所组成,它具有电路简单,电路器件少,电路成本低的优点。
057 潜艇低温等离子体空气消净化器
054 非热等离子体反应器
061 等离子体空气消净化空调机
019 等离子体显示板及其驱动方法
079 潜艇低温等离子体空气消净化器
038 槽型等离子体显示板行电极的驱动电路
008 具备复合线圈组的等离子体反应装置
025 槽型等离子体显示板用驱动电路
024 槽型等离子体显示屏用老练电路
044 具有轴向静电约束的等离子体离子注入系统
048 三腔串联式等离子体车载富氢气体发生器
051 用于制造负离子等离子体的处理系统
040 接触起动的等离子体焊炬
006 改进的等离子体转移金属丝弧热喷镀装置及方法
071 槽型等离子体显示板用驱动电路
015 利用射频发生系统的反馈控制的负电等离子体的稳定
078 汽车等离子体空气消净化器
081 空调列车等离子体空气消净化器
073 极板式低温等离子体处理废水汽的净化装置
002 等离子体辅助化学气相沉积装置脉冲电源的驱动电路
033 无介质低温等离子体工业废气净化装置
060 设有等离子体空气消净化器的医院手术室
052 等离子体显示装置
047 等离子体反应器
029 槽型等离子体显示板维持驱动方法及其电路
042 等离子体显示装置及其制造方法
063 一种等离子体辐射引发接枝制备荷负电纳滤膜的方法
056 座舱等离子体空气净化器
066 丝状等离子体反应器
055 汽车等离子体空气消净化器
010 脉冲式等离子体镀膜方法
035 金属网板型等离子体显示平板用改进型驱动电路
065 用于处理金属工件的等离子体方法和反应器
058 等离子体与二氧化钛优化组合的空气消净化器
009 等离子体发生装置和使用等离子体发生装置的膜沉积方法
023 等离子体显示面板电源
059 设有等离子体净化的抽油机
022 等离子体显示面板的驱动电路
030 金属网板型等离子体显示平板测试用多功能驱动电路
064 等离子体处理装置
037 金属网板型等离子体显示平板测试用多功能驱动电路
039 槽形等离子体显示板的高电压维持驱动电路
004 等离子体发生器的起弧增强电路
080 设有等离子体净化的抽油机
001 用等离子体浸没离子注入方法在材料表面形成TiO2-x薄膜的方法及其应用
076 等离子体空气消净化空调机
053 空调列车等离子体空气消净化器
072 圆盘式低温等离子体处理废水汽的净化装置
018 增加氢等离子体炬稳定性和功率的方法
083 一种回收铂族金属元素的等离子体弧熔融设备
034 管筒状工件内壁等离子体注入装置
032 绝缘体插装型等离子体处理装置
046 等离子体显示装置
017 等离子体显示板初始化和驱动方法与装置
014 具有双放电中心的等离子体显示板及维持放电波形的方法
045 等离子体CVD设备、形成薄膜的方法及半导体装置
043 等离子体显示面板的制造方法及荧光体墨涂敷装置
077 座舱等离子体空气净化器
050 使用高中性密度等离子体植入的共形掺杂
026 抑制等离子体不稳定的方法
031 一种激光诱导等离子体注入基材的方法及装置
005 用于等离子体显示板的电能恢复装置
070 槽型等离子体显示屏用老练电路
011 槽型等离子体显示板行电极的驱动电路及其驱动方法
067 齿状等离子体反应器
068 等离子体制备氮化铁磁性液体的装置
082 设有等离子体空气消净化器的医院手术室
075 等离子体与二氧化钛优化组合的空气消净化器
007 等离子体显示板的驱动电路
012 槽形等离子体显示板的高电压维持驱动电路及其驱动方法
027 等离子体CVD装置
041 无介质低温等离子体加工食物装置
069 卧式大容量等离子体金属表面加工装置
016 用于等离子体显示板的电极驱动装置
003 用于复位显示时寻址驱动模式的等离子体显示屏的方法
020 用等离子体浸没离子注入方法在材料表面形成TiO2-x薄膜的方法及其应用
049 等离子体系统
021 用于驱动等离子体显示板的设备和方法
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