超纯水的整个工艺流程是先经过预处理，然后加药杀毒，再经过RO反渗透系统，再使用离子交换混床或者EDI设备制取超纯水。
由于超纯水对水质的BOD和TOC等物质的含量要求比较高，所以一般会采取二级反渗透，后面的工艺比则采取离子交换混床或者EDI的技术。

离子交换混床是通过离子交换树脂在电解质溶液中进行的，可去除水中的各种阴、阳离子，是目前制备高纯水工艺流程中不可替代的手段。离子交换器分为阳离子交换器、阴离子交换器等。当原水
通过离子交换柱时，水中的阳离子和水中的阴离子（HCO3-等离子）与交换柱中的阳树脂的氢根离子和阴树脂的氢氧根离子进行交换，从而达到脱盐的目的。阳、阴混柱的不同组合可使水质达到更高的要
求。
离子交换法是目前国内外制水行业普遍采用的较为理想的方法，也是最经济有效地化学法之一，离子交换是一种用阴阳交换树脂对离子的选择性及平衡反应原理，去除水中电解质离子的技术。其特
点是利用离子交换树脂在水中和钙、镁及钠离子接触交换，从而得到优质纯水及高纯水，水质安全可靠，是一套完整成熟的制水工艺，现广泛为广大用户认可。
EDI作为制取超纯水的设备，作为反渗透设备后的二次除盐设备，可以制取出高达10-18.2MΩ.CM。EDI设备无需化学药剂的再生，可以连续运行。在具体的应用中，仅调节EDI的运行电流就可以改变
其出水水质。因此广泛用于微电子工业，半导体工业，发电工业，制药行业和实验室。也可以作为制药蒸馏水、食物和饮料生产用水、发电厂的锅炉的补给水，以及其它应用超纯水。
连续电除盐（EDI，Electro deionization或CDI，continuous electrode ionization），是利用混和离子交换树脂吸附给水中的阴阳离子，同时这些被吸附的离子又在直流电压的作用下，分别透过
阴阳离子交换膜而被除去的过程。这一过程离子交换树脂是电连续再生的，因此不需要使用酸和碱对之再生。这种新技术可以替代传统的离子交换装置，生产出高达18M-CM的超纯水。又可以比较清晰地
描述：EDI是利用阴、阳离子膜，采用对称堆放的形式，在阴、阳离子膜中间夹着阴、阳离子树脂，分别在直流电压的作用下，进行阴、阳离子交换。而同时在电压梯度的作用下，水会发生电解产生大量
H+和OH-，这些H+和OH-对离子膜中间的阴、阳离子不断地进行了再生。由于EDI不停进行交换——再生，使得纯水度越来越高，所以，轻而易举的产生了高纯度的超纯水。
EDI技术是由电渗透和离子交换有机结合形成的一种新型膜分离技术。借助离子交换树脂的离子交换作用与阴、阳离子交换膜对阴、阳离子的选择性透过作用，在直流电场的作用下，实现离子定向迁
移，从而完成水的深度除盐。由于离子交换、离子迁移及离子交换树脂的电再生相伴发生，犹如一个边工作边再生的混床离子交换树脂柱，可以连续不断地制取高质量的纯水、高纯水，因而又称连续去
离子（continuous deionization,简称CDI）。

树脂捕捉器(resintrapper)用来捕集随水带出离子交换器的树脂颗粒的装置。

用树脂进行在线水处理的时候，当树脂的质量较差（强度不够）、水压扰动大（特别是高压扰动）、树脂筒壁破损时，树脂会进入整个水系统，对该系统的其他设备的正常运行造成影响，因此需要装设
树脂捕捉器。树脂捕捉器主要就是在离子交换器等装有树脂的设备出口附近的水系统管路上安装一个孔径比树脂小很多的滤网，并具有冲洗功能。当树脂经过时，可以被滤网拦截捕捉，同时，通过前后
差压自动进行冲洗，将所捕捉的树脂排放出系统。