三氯氢硅合成尾气的体积分数分别为HCl 30%；H2 64.2%；SIHCl3 5.4%；其他0.2%。多晶硅混合气是在还原三氯氢硅过程中产生的尾气，成分复杂，主要是四氯化硅和三氯氢硅，二氯二氢硅等。多晶硅和三氯氢硅尾气未经处理排放大气，不仅造成污染，还存在重大安全隐患。
根据尾气的特性、成分、压力等，选择适当的工艺流程和技术条件进行尾气处理，则可降低三废排放，变废为宝。把尾气经过压缩后采用冷凝或变压吸附法（即湿法处理，常规干法或新型干法技术处理）进行吸附、分离、提纯，尾气则变成可回收的产品或可循环使用的原料。
我公司生产制造多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机，以及生产多晶硅、三氯氢硅需要的补充氢压缩机、循环氢压缩机、还原氢压缩机、氮气压缩机。多晶硅、三氯氢硅尾气压缩机采用填函前置气顶气、回收室一次氮封、D型隔离室二次氮封的安全密封结构，确保介质气体不会外漏.
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序号 |
压缩机名称、规格、型号 |
额定气量（m3/min） |
进气压力（Mpa） |
排气压力（Mpa） |
电机功率（KW） |
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1 |
ZW-4.5/2型多晶硅混合气压缩机 |
4.5 |
常压 |
0.2 |
18.5 |
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2 |
ZW-10/2型三氯氢硅尾气压缩机 |
10 |
常压 |
0.2 |
30 |
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3 |
ZW-3/3型多晶硅混合气压缩机 |
3 |
常压 |
0.3 |
18.5 |
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4 |
ZW-5/3型三氯氢硅产品气压缩机 |
5 |
常压 |
0.3 |
22 |
|
5 |
ZW-10/3.5型三氯氢硅尾气压缩机 |
10 |
常压 |
0.35 |
45 |
|
6 |
ZW-7/5型多晶硅混合气压缩机 |
7 |
常压 |
0.5 |
55 |
|
7 |
ZW-5.8/6型三氯氢硅原料气压缩机 |
5.8 |
常压 |
0.6 |
45 |
|
8 |
ZW-1.2/8型三氯氢硅尾气压缩机 |
1.2 |
常压 |
0.8 |
15 |
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9 |
ZW-12/7型多晶硅混合气压缩机 |
12 |
常压 |
0.7 |
90 |
|
10 |
DW-32/7型多晶硅混合气压缩机 |
32 |
常压 |
0.7 |
250 |
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11 |
ZW-11.5/6型多晶硅混合气压缩机 |
11.5 |
常压 |
0.6 |
75 |
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12 |
DW-40/7型多晶硅混合气压缩机 |
40 |
常压 |
0.7 |
280 |
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13 |
DW-25/12型多晶硅混合气压缩机 |
25 |
常压 |
1.2 |
200 |
|
14 |
DW-30/12型多晶硅混合气压缩机 |
30 |
常压 |
1.2 |
250 |
|
15 |
DW-1.0/3.5-33型补充氢压缩机 |
1.0 |
0.35 |
3.3 |
30 |
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16 |
DW-1.65/27-33型循环氢压缩机 |
1.65 |
2.7 |
3.3 |
30 |
|
17 |
DW-6.5/3.5-16型还原氢压缩机 |
6.5 |
0.35 |
1.6 |
110 |
|
18 |
DW-23/8型氩气压缩机 |
23 |
常压 |
0.8 |
160 |
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1 |
ZW-4.5/2型多晶硅混合气压缩机 |
4.5 |
常压 |
0.2 |
18.5 |
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